PRESSURE SENSOR

• Main Author: NADA, Hideaki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 13.09.2018
• Subjects: MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; TESTING

The present invention addresses the problem of, in a pressure sensor having a plurality of electrodes arranged so as to have gaps therebetween, maintaining a characteristic in which a pressure sensing element resistance value decreases as pressure increases and making the resistance value of the pressure sensing element match the level of a thin film transistor. This pressure sensor 1 is capable of solving this problem and is such that there is an initial contact area that is the contact area where a common electrode 9 and each mountain-type pressure sensing layer 33 come into contact when the pressing force on the common electrode 9 is an initial contact force and an initial effective area that is the area of an adjustment electrode 31 overlapping with the initial contact area in a plan view and the surface area of the initial effective area is 0-50% of the surface area of the initial contact area. The adjustment electrode 31 also has a pressure measurement area outside of the initial contact area. La présente invention aborde le problème consistant, dans un capteur de pression comprenant une pluralité d'électrodes disposées de façon à présenter des espaces entre elles, à maintenir une caractéristique dans laquelle une valeur de résistance d'élément de détection de pression diminue à mesure que la pression augmente, et à faire correspondre la valeur de résistance de l'élément de détection de pression au niveau d'un transistor à film mince. Le capteur de pression (1) est apte à résoudre ce problème et est tel qu'il y existe une zone de contact initiale qui est la zone de contact où une électrode commune (9) et chaque couche de détection de pression de type montagne (33) viennent en contact lorsque la force de pression sur l'électrode commune (9) est une force de contact initiale, et une zone effective initiale qui est la zone d'une électrode de réglage (31) chevauchant la zone de contact initiale dans une vue en plan ; et la surface de la zone efficace initiale représente 0 à 50 % de la surface de la zone de contact initiale. L'électrode de réglage (31) comprend également une zone de mesure de pression à l'extérieur de la zone de contact initiale. 互いに隙間を空けて配置された複数の電極を有する圧力センサにおいて、圧力が高くなるにつれて感圧素子の抵抗値が低くなる特性を維持しつつ、感圧素子の抵抗値を薄膜トランジスタのレベルに合わせることを課題とする。上記課題を解決できる圧力センサ1 において、共通電極9 に対する押圧力が初期接触圧力のときに共通電極9 と各山型感圧層33 が接触する接触領域を初期接触領域とし、初期接触領域に平面視で重なる調整電極31 の領域を初期有効領域とすると、初期有効領域の面積は初期接触領域の面積の0～50％である。調整電極31 は初期接触領域の外側にある圧力測定領域をさらに有する。