MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR

• Main Authors: HEUCK, Friedjof, FRIEDRICH, Thomas, GRUTZECK, Helmut, SCHWARZ, Mike, SENZ, Volkmar, DANNENBERG, Arne, MAUL, Robert, LUKACS, Ferenc, DÖGEI, Tamas
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 07.09.2018
• Subjects: MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; TESTING; TRANSPORTING

Mikromechanischer Drucksensor (100), aufweisend: - einen Drucksensorkern (10) mit einer Sensormembran (14) und einer oberhalb der Sensormembran (14) ausgebildeten Kavität (11); und - einen Drucksensorrahmen (20); wobei - ein Federelement (15) zur mechanischen Anbindung des Drucksensorkerns (10) an den Drucksensorrahmen (20) derart ausgebildet ist, dass eine mechanische Robustheit maximiert ist und eine Stresseinkopplung vom Drucksensorrahmen (20) auf den Drucksensorkern (10) minimiert ist. The invention relates to a micromechanical pressure sensor (100), comprising: - a pressure sensor core (10) with a sensor membrane (14) and a cavity (11) formed above the sensor membrane (14); and - a pressure sensor frame (20); wherein - a spring element (15) for mechanically attaching the pressure sensor core (10) to the pressure sensor frame (20) is designed such that a mechanical robustness is maximized and a stress coupling from the pressure sensor frame (20) on the pressure sensor core (10) is minimized. L'invention concerne un capteur de pression (100) micromécanique, comprenant : - un noyau (10) doté d'une membrane (14) et d'une cavité (11) formée au-dessus de la membrane (14) ; et - un cadre (20) ; - un élément ressort (15) destiné à la liaison mécanique du noyau (10) au cadre (20) et conçu de telle manière qu'une robustesse mécanique soit maximisée et qu'une injection de contraintes du cadre (20) au noyau (10) soit minimisée.