METHOD FOR PRODUCING GROUP 13 ELEMENT NITRIDE

The normal vector to the main surface of a seed crystal has an off angle of 0.4-5.0° in the <11-20> direction with respect to the direction of the seed crystal, and the proportion of a group 13 metal is 24-38 mol% when the total amount of the group 13 metal and alkali metals in a melt is 100 m...

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Main Authors HIRAO Takayuki, UCHIKAWA Tetsuya, NOGUCHI Suguru, ISODA Yoshinori
Format Patent
LanguageEnglish
French
Japanese
Published 05.07.2018
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Summary:The normal vector to the main surface of a seed crystal has an off angle of 0.4-5.0° in the <11-20> direction with respect to the direction of the seed crystal, and the proportion of a group 13 metal is 24-38 mol% when the total amount of the group 13 metal and alkali metals in a melt is 100 mol%. Le vecteur normal à la surface principale d'un germe cristallin présente un angle de décalage de 0,4 à 5,0° dans la direction <11-20> par rapport à la direction du germe cristallin, et la proportion de métal du groupe 13 est de 24 à 38 % en moles lorsque la quantité totale de métal du groupe 13 et de métaux alcalins dans une masse fondue est de 100 % en moles. 種結晶の主面に対する法線が前記種結晶の<0001>方向に対して<11-20>方向に0.4~5.0°のオフ角を有しており、融液における前記13族金属と前記アルカリ金属との合計量を100mol%としたとき、前記13族金属の割合を24mol%以上、38mol%以下とする。
Bibliography:Application Number: WO2017JP32816