METAL FUSE AND SELF-ALIGNED GATE EDGE (SAGE) ARCHITECTURE HAVING A METAL FUSE

• Main Authors: HAFEZ, Walid M, WU, Mong-Kai, BAMBERY, Rohan K
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 28.06.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Metal fuses and self-aligned gate edge (SAGE) architectures having metal fuses are described. In an example, an integrated circuit structure includes a plurality of semiconductor fins protruding through a trench isolation region above a substrate. A first gate structure is over a first of the plurality of semiconductor fins. A second gate structure is over a second of the plurality of semiconductor fins. A gate edge isolation structure is laterally between and in contact with the first gate structure and the second gate structure. The gate edge isolation structure is on the trench isolation region and extends above an uppermost surface of the first gate structure and the second gate structure. A metal fuse is on the gate edge isolation structure. L'invention concerne des fusibles métalliques et des architectures de bord de grille auto-alignée (SAGE) comportant des fusibles métalliques. Dans un exemple, une structure de circuit intégré comprend une pluralité d'ailettes semi-conductrices faisant saillie à travers une région d'isolation à tranchée au-dessus d'un substrat. Une première structure de grille se trouve au-dessus d'une première ailette de la pluralité d'ailettes semi-conductrices. Une seconde structure de grille se trouve au-dessus d'une seconde ailette de la pluralité d'ailettes semi-conductrices. Une structure d'isolation de bord de grille se trouve latéralement entre la première structure de grille et la seconde structure de grille et est en contact avec celles-ci. La structure d'isolation de bord de grille se trouve sur la région d'isolation à tranchée et s'étend au-dessus d'une surface supérieure de la première structure de grille et de la seconde structure de grille. Un fusible métallique se trouve sur la structure d'isolation de bord de grille.