VAPOR DEPOSITION MASK DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING VAPOR DEPOSITION MASK DEVICE

• Main Authors: OKAMOTO Hideyuki, NAKAMURA Yusuke, USHIKUSA Masato
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 21.06.2018
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLICMATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASSC23 AND AT LEAST ONEPROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25; NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

[Problem] To provide a vapor deposition mask device whereby the occurrence of wrinkling or deformation in a vapor deposition mask can be suppressed, and a method for manufacturing the vapor deposition mask device. [Solution] A vapor deposition mask device 10 is provided with a vapor deposition mask 20 having an effective region 22 in which a plurality of first through holes 25 are disposed, and a frame 15 attached to the vapor deposition mask 20, and has a plurality of joint parts 60 at which the vapor deposition mask 20 and the frame 15 are joined to each other, the plurality of joint parts 60 being aligned along an outer edge 26 of the vapor deposition mask 20, and notches 42 being formed in corresponding positions between pairs of adjacent joint parts 60 at the outer edge 26 of the vapor deposition mask 20. [Problème] Fournir un dispositif de masque de dépôt en phase vapeur au moyen duquel l'apparition de rides ou de déformation dans un masque de dépôt en phase vapeur peut être supprimée, et un procédé de fabrication du dispositif de masque de dépôt en phase vapeur. [Solution] La présente invention concerne un dispositif de masque de dépôt en phase vapeur 10 qui est pourvu d'un masque de dépôt en phase vapeur 20 comportant une région efficace 22 dans laquelle une pluralité de premiers trous traversants 25 sont disposés, et un cadre 15 fixé au masque de dépôt en phase vapeur 20, et comporte une pluralité de parties de jonction 60 au niveau desquelles le masque de dépôt en phase vapeur 20 et le cadre 15 sont mutuellement assemblés, la pluralité de parties de jonction 60 étant alignées le long d'un bord externe 26 du masque de dépôt en phase vapeur 20, et des encoches 42 étant formées dans des positions correspondantes entre des paires de parties de jonction 60 adjacentes au niveau du bord externe 26 du masque de dépôt en phase vapeur 20. 【課題】蒸着マスクにシワや変形が生じることを抑制することができる蒸着マスク装置及びこの蒸着マスク装置の製造方法を提供する。 【解決手段】蒸着マスク装置１０は、複数の第１貫通孔２５が配置された有効領域２２を有する蒸着マスク２０と、蒸着マスク２０に取り付けられたフレーム１５と、を備え、蒸着マスク２０とフレーム１５とを互いに接合する複数の接合部６０を有し、複数の接合部６０は、蒸着マスク２０の外縁２６に沿って配列されており、蒸着マスク２０の外縁２６における、隣り合う二つの接合部６０の間に対応する位置に、切欠き４２が形成されている。