CARRIAGE FOR REPLACING TARGET GENERATION DEVICE, TARGET GENERATION DEVICE REPLACEMENT SYSTEM, AND METHOD FOR REPLACING TARGET GENERATION DEVICE

• Main Author: NISHISAKA, Toshihiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 24.05.2018
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES; HOLOGRAPHY; IRRADIATION DEVICES; MATERIALS THEREFOR; NUCLEAR ENGINEERING; NUCLEAR PHYSICS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOTOTHERWISE PROVIDED FOR; X-RAY TECHNIQUE

A carriage for replacing a target generation device comprises: A. a linear movement mechanism that holds a target generation device for outputting a target substance and moves the target generation device linearly in the output direction of the target substance; B. a positioning part that positions the linear movement mechanism relative to a chamber attachment part to which the target generation device is attached; C. a drive part that drives the linear movement mechanism; and D. a stand that holds the linear movement mechanism. The positioning part is provided on the stand. L'invention concerne un chariot destiné à remplacer un dispositif de génération de cible, qui comporte: A. un mécanisme de mouvement linéaire qui maintient un dispositif de génération de cible servant à délivrer une substance cible et déplace linéairement le dispositif de génération de cible dans la direction de sortie de la substance cible; B. une partie de positionnement qui positionne le mécanisme de mouvement linéaire par rapport à une partie de fixation de chambre à laquelle est fixé le dispositif de génération de cible; C. une partie d'entraînement qui entraîne le mécanisme de mouvement linéaire; et D. un support qui maintient le mécanisme de mouvement linéaire. La partie de positionnement est placée sur le support. ターゲット生成装置交換用台車は、以下を備える：Ａ．ターゲット物質を出力するターゲット生成装置を保持し、ターゲット物質の出力方向へ直線的に移動させる直線移動機構；及び、Ｂ．直線移動機構を、ターゲット生成装置が装着されるチャンバの装着部に対して位置決めする位置決め部。ターゲット生成装置交換用台車は、さらに以下を備える：Ｃ．直線移動機構を駆動する駆動部。ターゲット生成装置交換用台車は、さらに以下を備える：Ｄ．直線移動機構を保持する架台。ここで、位置決め部は、架台に設けられている。