QUANTIFYING AND REDUCING TOTAL MEASUREMENT UNCERTAINTY

• Main Authors: TAAN, Gary, BIAGINI, Karen, MANTIPLY, Bryant, JAYANTHA RAO, Ravichander
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 26.04.2018
• Subjects: CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; CONTROLLING; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS; PHYSICS; REGULATING

A process control technique uses production data from multiple manufacturing tools and multiple inspection or metrology tools. Total measurement uncertainty (TMU) can be calculated on the production data, which can include measurements of one or more devices manufactured using the manufacturing tools. Manufacturing steps can be ranked or otherwise compared by TMU. All production modes and recipes can be continually monitored using production data. L'invention concerne une technique de commande de processus utilisant des données de production provenant d'une pluralité d'outils de fabrication et d'une pluralité d'outils d'inspection ou de métrologie. Une incertitude de mesure totale (TMU) peut être calculée sur les données de production, qui peuvent comprendre des mesures d'un ou plusieurs dispositif(s) fabriqués au moyen des outils de fabrication. Les étapes de fabrication peuvent être classées ou comparées autrement par incertitude de mesure totale. Tous les modes de production et les recettes peuvent être surveillés en continu au moyen de données de production.