SOLAR CELL EMITTER REGION FABRICATION APPARATUS

• Main Authors: BAI, Xiao, QIU, Taiqing
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 26.04.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Solar cell emitter regions fabrication is described. In an example, a species mask, e.g., a shadow mask, is provided between a plasma source and a semiconductor wafer. The species mask includes an opening pattern having several openings with respective opening widths and pitches. Species emitted by the plasma source pass through the openings in the species mask and implant in the semiconductor wafer to form several emitter region fingers having respective finger widths and pitches. In an embodiment, the opening widths and pitches vary across the species mask and the emitter region finger widths and pitches are uniform across the semiconductor wafer. L'invention concerne la réalisation de régions d'émetteurs de cellules solaires. Dans un exemple, un masque d'espèces, p. ex. un masque perforé, est placé entre une source de plasma et une tranche de semi-conducteur. Le masque d'espèces comprend un motif d'ouvertures doté de plusieurs ouvertures présentant des largeurs d'ouvertures et des pas respectifs. Des espèces émises par la source de plasma passent à travers les ouvertures dans le masque d'espèces et s'implantent dans la tranche de semi-conducteur pour former plusieurs doigts de région d'émetteur présentant des largeurs de doigts et des pas respectifs. Dans un mode de réalisation, les largeurs et les pas d'ouvertures varient sur l'étendue du masque d'espèces et les largeurs et les pas de doigts de région d'émetteur sont uniformes sur l'étendue de la tranche de semi-conducteur.