OPTICAL INSPECTION SYSTEMS AND METHODS FOR DETECTING SURFACE DEFECTS IN A TRANSPARENT SHEET

• Main Authors: USTANIK, Correy Robert, CHANG, Shih-Min, KNOWLES, Peter, ZHANG, Jiaxiang, KNOWLES, Jeffrey Allen
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 15.03.2018
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

Systems and methods for optically inspecting a transparent sheet for surface defects and to distinguish between surface defects and particles include capturing a bright-field or a dark-field detector-camera image of a region of the transparent sheet. The detector-camera image includes defect images and particle images that are not distinguishable from the detector-camera image alone. A particle-camera image of the same region of the transparent sheet is captured. The particle-camera image has particle images only. The defect-camera image and the particle-camera image are compared to distinguish the defect images from the particle images in the detector-camera image. Two detector-camera images can be used to determine a shift between defect images that reveals whether a given defect resides on the upper or lower surface of the transparent sheet. Schlieren imaging can be used determine whether the defects are dimples or pimples. La présente invention concerne des systèmes et des procédés d'inspection optique d'une feuille transparente concernant des défauts de surface et de distinction entre des défauts de surface et des particules comprenant la capture d'un champ lumineux ou d'une image de caméra-détecteur de champ sombre d'une région de la feuille transparente. L'image de caméra de détection comprend des images de défaut et des images de particules qui ne peuvent pas être distinguées seulement à partir de l'image de caméra de détecteur. Une image de caméra à particules de la même région de la feuille transparente est capturée. L'image de caméra à particules présente uniquement des images de particules. L'image de caméra de défaut et l'image de caméra de particule sont comparées pour distinguer les images de défaut des images de particule dans l'image de caméra de détecteur. Deux images de caméra de détection peuvent être utilisées pour déterminer un décalage entre des images de défaut qui révèle si un défaut donné réside sur la surface supérieure ou inférieure de la feuille transparente. L'imagerie de Schlieren peut être utilisée pour déterminer si les défauts sont des alvéoles ou des grains.