TARGET GENERATING DEVICE AND EXTREME UV LIGHT GENERATING DEVICE

• Main Authors: SHIRAISHI, Yutaka, NISHISAKA, Toshihiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 08.03.2018
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; X-RAY TECHNIQUE

A target generating device according to one aspect of the invention comprises a tank for housing a target substance, a heater disposed in the tank, a nozzle communicating with the interior of the tank, a lid part having a gas introduction port communicating with the interior of the tank, and a plurality of shielding plates, disposed in the interior of the tank, for suppressing the entrance of the target substance into the gas introduction port, wherein each of the plurality of shielding plates is provided with at least one non-shielding region portion for letting the gas through. From among the plurality of shielding plates, at least two arbitrary shielding plates have their respective non-shielding region portions positioned in such a manner that it is not possible to see beyond one shielding plate from the other shielding plate and vice versa. Selon un aspect de la présente invention, un dispositif de génération de cible comprend un réservoir permettant de recevoir une substance cible, un dispositif de chauffage disposé dans le réservoir, une buse communiquant avec l'intérieur du réservoir, une partie couvercle ayant un orifice d'introduction de gaz communiquant avec l'intérieur du réservoir, et une pluralité de plaques de protection, disposée à l'intérieur du réservoir, permettant de supprimer l'entrée de la substance cible dans l'orifice d'introduction de gaz, chaque plaque de protection de la pluralité de plaques de protection étant pourvue d'au moins une partie de région de non-protection permettant de laisser passer le gaz. Parmi la pluralité de plaques de protection, au moins deux plaques de protection arbitraires ont leurs parties de région de non-protection respectives positionnées de telle sorte qu'il n'est pas possible de voir au-delà d'une plaque de protection à partir de l'autre plaque de protection et vice versa. 本開示の一観点に係るターゲット生成装置は、ターゲット物質を収容するタンクと、タンクに配置されたヒータと、タンクの内部と連通するノズルと、タンクの内部と連通するガス導入口を有する蓋部と、タンクの内部に配置され、ガス導入口へのターゲット物質の進入を抑制する複数枚の遮蔽板と、を備え、複数枚の遮蔽板の各々には、ガスを通過させる少なくとも１つの非遮蔽領域部が設けられ、複数枚の遮蔽板のうち少なくともいずれか２枚の遮蔽板の非遮蔽領域部は、２枚の遮蔽板間で相互に見通せない位置に設けられている。