ELECTRICAL CONNECTION DEVICE

• Main Authors: UEBAYASHI Masatomo, AKAHIRA Akihisa, KUGA Tomoaki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 01.02.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

An electrical connection device 10 comprises a plurality of probes 20, a probe substrate 16 that is connected to a base end 20b of the plurality of probes 20, and a probe support 18 that prevents interference between adjacent probes of the plurality of probes 20 when a distal end 20a of the plurality of probes 20 is pressed to an object to be inspected, wherein: the probe support 18 is provided with a plate-shaped guide part 30 which has guide holes into which the probes 20 are inserted; the guide part 30 includes an upper guide part 31, a lower guide part 32, and an intermediate guide part 33; the probes 20 are guided toward the object to be inspected by being inserted into the guide holes of the upper guide part 31, the intermediate guide part 33, and the lower guide part 32; and the intermediate guide part 33 is provided so as to be movable in an orthogonal direction X that is orthogonal to a thickness direction Y. La présente invention concerne un dispositif de connexion électrique 10 qui comprend une pluralité de sondes 20, un substrat de sonde 16 qui est connecté à une extrémité de base 20b de la pluralité de sondes 20, et un support de sonde 18 qui évite une interférence entre les sondes adjacentes de la pluralité de sondes 20 lorsqu'une extrémité distale 20a de la pluralité de sondes 20 est pressée sur un objet à inspecter, dans lequel : le support de sonde 18 est pourvu d'une partie de guidage en forme de plaque 30 qui comporte des trous de guidage dans lesquels les sondes 20 sont insérées ; la partie de guidage 30 comprend une partie de guidage supérieure 31, une partie de guidage inférieure 32 et une partie de guidage intermédiaire 33 ; les sondes 20 sont guidées vers l'objet à inspecter en étant insérées dans les trous de guidage de la partie de guidage supérieure 31, la partie de guidage intermédiaire 33 et la partie de guidage inférieure 32 ; et la partie de guidage intermédiaire 33 est disposée de façon à être mobile dans une direction orthogonale X qui est orthogonale à une direction d'épaisseur Y. 複数のプローブ２０と、複数のプローブ２０の基端部２０ｂに接続されるプローブ基板１６と、複数のプローブ２０の先端部２０ａが被検査体に押圧されたときに、複数のプローブ２０の隣接するプローブ同士の干渉を防止するプローブ支持体１８と、を備える電気的接続装置１０であって、プローブ支持体１８は、プローブ２０が挿通されるガイド穴を有する板状のガイド部３０を備え、ガイド部３０は、上方ガイド部３１と下方ガイド部３２と中間ガイド部３３とを含み、プローブ２０は、上方ガイド部３１と中間ガイド部３３と下方ガイド部３２とのガイド穴に挿通することにより被検査体に向けて案内され、中間ガイド部３３は、厚み方向Ｙに直交する直交方向Ｘに移動可能に設けられている。