APPARATUS FOR DEPOSITING METAL FILMS WITH PLASMA TREATMENT

• Main Authors: WU, Dien-Yeh, LAM, Hyman W. H, LU, Jiang, MA, Paul F, YAO, Daping, XU, Can, CHANG, Mei, FORSTER, John C
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 11.01.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Embodiments of a gas delivery apparatus for use in a radio frequency (RF) processing apparatus are provided herein. In some embodiments, a gas delivery apparatus for use in a radio frequency (RF) processing apparatus includes: a conductive gas line having a first end and a second end; a first flange coupled to the first end; a second flange coupled to the second end, wherein the conductive gas line extends through and between the first and second flanges; and a block of ferrite material surrounding the conductive gas line between the first and second flanges. L'invention concerne également des modes de réalisation d'un appareil de distribution de gaz destiné à être utilisé dans un appareil de traitement radiofréquence (RF). Dans certains modes de réalisation, un appareil de distribution de gaz destiné à être utilisé dans un appareil de traitement radiofréquence (RF) comprend : une ligne de gaz conductrice ayant une première extrémité et une seconde extrémité; une première bride couplée à la première extrémité; une seconde bride couplée à la seconde extrémité, la ligne de gaz conductrice s'étendant à travers et entre les première et seconde brides; et un bloc de matériau de ferrite entourant la ligne de gaz conductrice entre les premières et secondes brides.