HEAT FLUX SENSOR MODULE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR

• Main Authors: OKAMOTO, Keiji, SAKAIDA, Atusi, TANIGUCHI, Toshihisa, GOUKO, Norio, HARADA, Toshikazu
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 11.01.2018
• Subjects: MEASURING; MEASURING QUANTITY OF HEAT; MEASURING TEMPERATURE; PHYSICS; TESTING; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR

A heat flux sensor module 2 is provided with: a first film 20 having a surface 21; multiple sensor chips 10 which are disposed on the surface 21 so as to be spaced from one another and which each detect heat flux; a second film 30 stacked on the surface 21 side of the first film 20 such that the multiple sensor chips 10 are sandwiched between the first film 20 and the second film 30; and heat conduction members 40 which are disposed between the adjacent sensor chips 10 and each of which has heat conductivity higher than that of air. The heat conduction members 40 are in contact with both the first film 20 and the second film 30. L'invention porte sur un module de détecteur de flux thermique (2) qui est pourvu : d'un premier film (20) ayant une surface (21) ; de multiples puces de détection (10) qui sont disposées sur la surface (21) de manière à être espacées les unes des autres et qui détectent chacune un flux thermique ; un second film (30) empilé sur le côté de la surface (21) du premier film (20) de telle sorte que les multiples puces de détecteur (10) sont prises en sandwich entre le premier film (20) et le second film (30) ; et des éléments de conduction thermique (40) qui sont disposés entre les puces de détecteur (10) adjacentes et dont chacun possède une conductivité thermique supérieure à celle de l'air. Les éléments de conduction thermique (40) sont en contact à la fois avec le premier film (20) et le second film (30). 熱流束センサモジュール２は、一面２１を有する第１フィルム２０と、互いに間を空けて一面２１に配置され、熱流束を検出する複数のセンサチップ１０と、第１フィルム２０の一面２１側に積層され、第１フィルム２０との間に複数のセンサチップ１０を挟む第２フィルム３０と、隣り合うセンサチップ１０の間に配置され、空気よりも熱伝導率が高い熱伝導部材４０と、を備える。熱伝導部材４０は、第１フィルム２０と第２フィルム３０との両方に接している。