APPLIANCE FOR THE MOIRÉ MEASUREMENT OF AN OPTICAL TEST OBJECT

• Main Author: SAMANIEGO, Michael
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 11.01.2018
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; MEASURING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; TESTING; TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES; TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR

The invention relates to an appliance for the moiré measurement of an optical test object, comprising a grating arrangement made of a first grating (11) which is positionable in the optical beam path upstream of the test object (12) and which comprises test structures to be imaged and a second grating (14) which is positionable in the optical beam path downstream of the test object (12), and an evaluation unit comprising at least one detector, for evaluating moiré structures produced by superposition of the two gratings in a detection plane situated downstream of the second grating (14) in the optical beam path, wherein the test object (12) is an anamorphic imaging system, and wherein the respective grating periods of the first grating (11) and of the second grating (14) are selected in such a way that the grating period of the second grating (14) corresponds to a common multiple or a common divisor of the respective periods of two test structure images of the test structures of the first grating (11) produced by the imaging system in two different measurement positions, wherein the two measurement positions differ in respect of the relative position of grating arrangement and test object (12). L'invention concerne un appareil pour la mesure du moiré d'un objet de test optique, comprenant un agencement de réseau constitué d'un premier réseau (11) qui peut être positionné dans le trajet de faisceau optique en amont de l'objet de test (12) et qui comprend des structures de test à imager, et d'un second réseau (14) qui peut être positionné dans le trajet de faisceau optique en aval de l'objet de test (12), et une unité d'évaluation comprenant au moins un détecteur, pour évaluer des structures de moiré produites par superposition des deux réseaux dans un plan de détection situé en aval du second réseau (14) dans le trajet de faisceau optique, l'objet de test (12) étant un système d'imagerie anamorphique, et les périodes de réseau respectives du premier réseau (11) et du second réseau (14) étant sélectionnées de telle sorte que la période de réseau du second réseau (14) correspond à un multiple commun ou à un diviseur commun des périodes respectives de deux images de structure de test des structures de test du premier réseau (11) produites par le système d'imagerie dans deux positions de mesure différentes, les deux positions de mesure différant par rapport à la position relative de l'agencement de réseau et de l'objet de test (12).