STAGE SYSTEM, LITHOGRAPHIC APPARATUS, METHOD FOR POSITIONING AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

• Main Authors: JANSSENS, Stef, Marten, Johan, OVERSCHIE, Peter, DONDERS, Sjoerd, Nicolaas, Lambertus, TROMP, Siegfried, Alexander, SPAAN-BURKE, Theresa, Mary, SCHOLTEN, Bert, Dirk, VAN DAM, Teunis
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 04.01.2018
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention relates to a system for positioning, a stage system, a lithographic apparatus, a method for positioning and a method for manufacturing a device in which use is made of a stage system. In accordance with the invention, a plurality of air bearing devices is provided. Each air bearing device comprises: - an air bearing body, which has a free surface, - a primary channel which extends through the air bearing body and has an inlet opening in the free surface, - a secondary channel system which extends through the air bearing body and which has a plurality of discharge openings in the free surface. The flow resistance in the secondary channel system is higher than the flow resistance in the primary channel. La présente invention concerne un système de positionnement, un système étagé, un appareil lithographique, un procédé de positionnement, et un procédé de fabrication d'un dispositif utilisant un système étagé. Selon l'invention, une pluralité de dispositifs de palier à air sont prévus. Chaque dispositif de palier à air comprend : - un corps de palier à air qui a une surface libre, - un canal primaire qui s'étend à travers le corps de palier à air et possède une ouverture d'entrée dans la surface libre, - un système de canal secondaire qui s'étend à travers ce corps de palier à air et qui comporte une pluralité d'ouvertures d'évacuation dans la surface libre. La résistance à l'écoulement dans le système de canal secondaire est supérieure à la résistance à l'écoulement dans le canal primaire.