MICROPHONE WITH INTEGRATED GAS SENSOR

Systems and apparatuses for a microelectromechanical system (MEMS) device. The MEMS device includes a housing, a transducer, and a sensor. The housing includes a substrate defining a port and a cover. The substrate and the cover cooperatively form an internal cavity. The port fluidly couples the int...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors WATSON, Josh, FURST, Claus, SZCZECH, John, CHANDRASEKARAN, Venkataraman
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 28.12.2017
Subjects
Online AccessGet full text

Cover

Loading…
More Information
Summary:Systems and apparatuses for a microelectromechanical system (MEMS) device. The MEMS device includes a housing, a transducer, and a sensor. The housing includes a substrate defining a port and a cover. The substrate and the cover cooperatively form an internal cavity. The port fluidly couples the internal cavity to an external environment. The transducer is disposed within the internal cavity and positioned to receive acoustic energy through the port. The transducer is configured to convert the acoustic energy into an electrical signal. The sensor is disposed within the internal cavity and positioned to receive a gas through the port. The sensor is configured to facilitate detecting at least one of an offensive odor, smoke, a volatile organic compound, carbon monoxide, carbon dioxide, a nitrogen oxide, methane, and ozone. L'invention concerne des systèmes et des appareils pour un dispositif à système microélectromécanique (MEMS). Le dispositif MEMS comprend un boîtier, un transducteur et un capteur. Le boîtier comprend un substrat définissant un orifice et un couvercle. Le substrat et le couvercle forment ensemble une cavité interne. L'orifice accouple de manière fluidique la cavité interne à un environnement externe. Le transducteur est disposé dans la cavité interne et positionné pour recevoir de l'énergie acoustique à travers l'orifice. Le transducteur est conçu de manière à convertir le signal acoustique en un signal électrique. Le capteur est disposé dans de la cavité interne et positionné pour recevoir un gaz à travers l'orifice. Le capteur est conçu pour faciliter la détection d'une odeur désagréable et/ou de fumée et/ou d'un composé organique volatil et/ou du monoxyde de carbone et/ou du dioxyde de carbone et/ou d'oxyde d'azote et/ou de méthane et/ou d'ozone.
Bibliography:Application Number: WO2017US36771