METHODS OF FABRICATING PHOTOSENSITIVE SUBSTRATES SUITABLE FOR OPTICAL COUPLER

The present invention provides a method to fabricate an optical coupler comprising the steps of: preparing a photosensitive glass substrate comprising at least silica, lithium oxide, aluminum oxide, and cerium oxide; masking a halftone design with variation in optical density to delineate an optical...

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Main Authors FLEMMING, Jeb, H, BULLINGTON, Jeff, CHENOWETH, Luis, C, COOK, Roger
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 12.10.2017
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Summary:The present invention provides a method to fabricate an optical coupler comprising the steps of: preparing a photosensitive glass substrate comprising at least silica, lithium oxide, aluminum oxide, and cerium oxide; masking a halftone design with variation in optical density to delineate an optical element in the glass; exposing the photosensitive glass substrate to an activating energy source; exposing the photosensitive glass substrate to a heating phase of at least ten minutes above its glass transition temperature; cooling the photosensitive glass substrate to transform at least part of the exposed glass to a crystalline material to form a glass-crystalline substrate; and etching the glass-crystalline substrate with an etchant solution to form the one or more optical elements. La présente invention a trait à un procédé de fabrication d'un coupleur optique qui comprend les stades consistant à : former un substrat de verre photosensible comprenant au moins de la silice, de l'oxyde de lithium, de l'alumine et de l'oxyde de cérium; masquer un motif à demi-tons à densité optique variable pour délimiter l'élément optique dans le verre; soumettre le substrat de verre photosensible à une phase de réchauffement pendant au moins dix minutes au-dessus de sa température de transition vitreuse ; refroidir ledit substrat de verre photosensible afin de transformer au minimum une partie du verre exposé en un matériau cristallin pour former un substrat de verre cristallin ; et graver le substrat de verre cristallin à l'aide d'un produit d'attaque afin d'obtenir un ou plusieurs éléments optiques.
Bibliography:Application Number: WO2017US26662