REDUCING FALSE COUNTS IN CONDENSATION PARTICLE COUNTERS

• Main Authors: REMIARZ, Richard, FARMER, Kenneth
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 05.10.2017
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

Various embodiments include methods and apparatuses to reduce false-particle counts in a water-based condensation particle counter (CPC). In one embodiment, a cleanroom CPC has three parallel growth tube assemblies. A detector is coupled to an outlet of each of the three parallel growth tube assemblies, and is used to compare the particle concentrations measured from each of the three growth tube assemblies. An algorithm compares the counts from the three detectors and determines when the particles counted are real and when they are false counts. Any real particle event shows up in all three detectors, while false counts will only be detected by one detector. Statistics are used to determine at which particle count levels the measured counts are considered to be real versus false. Other methods and apparatuses are disclosed. La présente invention concerne, dans divers modes de réalisation, des procédés et des appareils permettant de réduire les faux décomptes de particules dans un compteur de particules àcondensation (CPC) à base d'eau. Dans un mode de réalisation, un CPC de salle blanche comprend trois ensembles de tubes de croissance parallèles. Un détecteur est couplé à une sortie de chacun des trois ensembles de tubes de croissance parallèles, et est utilisé pour comparer les concentrations de particules mesurées à partir de chacun des trois ensembles de tubes de croissance. Un algorithme compare les comptes provenant des trois détecteurs et détermine lorsque les particules comptées sont réelles et lorsqu'elles sont de faux décomptes. Tout événement de particule réelle apparaîtra dans les trois détecteurs, tandis que les faux décomptes ne seront détectés que par un détecteur. Des statistiques sont utilisées pour déterminer à quels niveaux de décompte de particules les décomptes mesurés sont considérés comme réels par rapport à faux. La présente invention concerne également d'autres procédés et appareils.