CHEMICAL SENSOR

• Main Authors: YUGA Haruki, KIKUKAWA Takashi, HARATANI Susumu, TSUBOIKE Sachio, KITAGAWA Sumiko
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 05.10.2017
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

Provided is a chemical sensor that can achieve high detection precision. A chemical sensor 100 that is characterized by having a substrate 1, two or more magnetoresistance effect elements 3 that are arranged above the substrate 1 so as to be aligned in a substrate planar direction, a first film 10 that is arranged above regions that are between adjacent magnetoresistance effect elements 3, and a second film 20 that is arranged above the magnetoresistance effect elements 3, the solubility of the second film 20 with respect to a specific liquid being greater than that of the first film 10. La présente invention concerne un capteur chimique qui peut obtenir une précision de détection élevée. Le capteur chimique 100 est caractérisé en ce qu'il comporte un substrat 1, au moins deux éléments à effet de magnétorésistance 3 qui sont disposés au-dessus du substrat 1 de façon à être alignés dans une direction plane du substrat, un premier film 10 qui est disposé au-dessus des régions qui se trouvent entre les éléments à effet de magnétorésistance 3 adjacents, et un second film 20 qui est disposé au-dessus des éléments à effet de magnétorésistance 3, la solubilité du second film 20 par rapport à un liquide spécifique étant supérieure à celle du premier film 10. 高い検出精度を得ることが可能な化学センサを提供する。 化学センサ１００は、基板１と、基板１上に基板面内方向に並んで配置された２つ以上の磁気抵抗効果素子３と、隣り合う磁気抵抗効果素子３の間の領域上に配置された第１の膜１０と、磁気抵抗効果素子３上に配置された第２の膜２０と、を有し、第２の膜２０のある特定の液体に対する溶解度が、第１の膜１０よりも大きいことを特徴とする。