PROBE SYSTEM AND METHODS INCLUDING ACTIVE ENVIRONMENTAL CONTROL

• Main Authors: KREHER, Mirko, TEICH, Michael, HACKIUS, UlF, KIESEWETTER, Jorg, ZILL, Frank
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 08.09.2017
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

Probe systems and methods including active environmental control are disclosed herein. The methods include placing a substrate, which includes a device under test (DUT), on a support surface of a chuck. The support surface extends within a measurement environment that is at least partially surrounded by a measurement chamber. The methods further include determining a variable associated with a moisture content of the measurement environment and receiving a temperature associated with the measurement environment. The methods also include supplying a purge gas stream to the measurement chamber at a purge gas flow rate and selectively varying the purge gas flow rate such that a dew point temperature of the measurement environment is within a target dew point temperature range. The methods further include providing a test signal to the DUT and receiving a resultant signal from the DUT. The systems include probe systems that perform the methods. L'invention concerne des systèmes de sonde et des procédés comprenant une régulation environnementale active. Les procédés consistent à placer un substrat, qui comprend un dispositif à l'essai (DUT), sur une surface de support d'un mandrin. La surface de support s'étend à l'intérieur d'un environnement de mesure qui est au moins partiellement entouré par une chambre de mesure. Les procédés consistent en outre à déterminer une variable associée à une teneur en humidité de l'environnement de mesure et à recevoir une température associée à l'environnement de mesure. Les procédés consistent également à fournir un courant de gaz de purge dans la chambre de mesure à un certain débit de gaz de purge, et à faire varier sélectivement le débit de gaz de purge tel qu'une température de point de rosée de l'environnement de mesure se situe dans une plage de température de point de rosée cible. Les procédés consistent également à fournir un signal de test au DUT et à recevoir un signal résultant provenant du DUT. Les systèmes comprennent des systèmes de sonde qui mettent en œuvre les procédés.