APPARATUS AND METHOD FOR PLANARIZING MULTIPLE SHADOW MASKS ON A COMMON CARRIER FRAME

• Main Authors: TUNG, Shen-Chih, MONTO, David, N, BUCCI, Brian, Arthur
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 10.08.2017
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

In an apparatus and method for multi mask alignment, a carrier is provided that includes apertures therethrough. For each aperture, a combination frame and shadow mask that includes alignment features is positioned on spacers supported by the carrier with the shadow mask of the combination in coarse alignment with the aperture. Next, each combination frame and shadow mask is moved to a position spaced from the spacers whereupon the alignment system, under the control of a controller, individually aligns each combination frame and shadow mask to align the alignment features of the combination with reference alignment features associated with the combination. Each combination frame and shadow mask is then returned to a position on the spacers whereafter each combination frame and shadow mask is secured to the carrier. In an example, all of the combination frames and shadow masks can be aligned simultaneously. L'invention porte sur un appareil et un procédé d'alignement multi-masques, dans lequel est prévu un support comprenant des ouvertures. Pour chaque ouverture, un ensemble formé d'un cadre et d'un masque perforé et comprenant des éléments d'alignement est positionné sur des espaceurs placés sur le support, le masque perforé de l'ensemble étant globalement aligné avec l'ouverture. Chaque ensemble formé d'un cadre et d'un masque perforé est ensuite déplacé vers une position éloignée des espaceurs, après quoi le système d'alignement, sous le pilotage d'un module de commande, aligne individuellement chaque ensemble formé d'un cadre et d'un masque perforé pour aligner les éléments d'alignement de l'ensemble avec des éléments d'alignement de référence associés à l'ensemble. Chaque ensemble formé d'un cadre et d'un masque perforé est ensuite remis en position sur les espaceurs, puis fixé au support. Dans un exemple, tous les ensembles formés de cadres et de masques perforés peuvent être alignés de manière simultanée.