MICROELECTROMECHANICAL MICROPHONE HAVING A STATIONARY INNER REGION

• Main Authors: BERGER, Renata Melamud, BHARATAN, Sushil, CHEN, Thomas
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 15.06.2017
• Subjects: DEAF-AID SETS; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRICITY; LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS; TRANSPORTING

A microelectromechanical microphone has a stationary region or another type of mechanically supported region that can mitigate or avoid mechanical instabilities in the microelectromechanical microphone. The stationary region can be formed in a diaphragm of the microelectromechanical microphone by rigidly attaching, via a rigid dielectric member, an inner portion of the diaphragm to a backplate of the microelectromechanical microphone. The rigid dielectric member can extend between the backplate and the diaphragm. In certain embodiments, the dielectric member can be hollow, forming a shell that is centrosymmetric or has another type of symmetry. In other embodiments, the dielectric member can define a core-shell structure, where an outer shell of a first dielectric material defines an inner opening filled with a second dielectric material. Multiple dielectric members can rigidly attach the diaphragm to the backplate. An extended dielectric member can rigidly attach a non-planar diaphragm to a backplate. La présente invention concerne un microphone microélectromécanique présentant une région fixe ou un autre type de région soutenue mécaniquement qui peut atténuer ou éviter des instabilités mécaniques dans le microphone microélectromécanique. La région fixe peut être formée dans une membrane du microphone microélectromécanique par fixation rigide, par l'intermédiaire d'un élément diélectrique rigide, d'une partie intérieure de la membrane à une plaque arrière du microphone microélectromécanique. L'élément diélectrique rigide peut s'étendre entre la plaque arrière et la membrane. Dans certains modes de réalisation, l'élément diélectrique peut être creux, formant une enveloppe centrosymétrique ou présentant un autre type de symétrie. Dans d'autres modes de réalisation, l'élément diélectrique peut définir une structure noyau-enveloppe, une enveloppe extérieure d'un premier matériau diélectrique définissant une ouverture intérieure remplie d'un second matériau diélectrique. Plusieurs éléments diélectriques peuvent fixer solidement la membrane à la plaque arrière. Un élément diélectrique étendu peut fixer solidement une membrane non plane à une plaque arrière.