EXTREME UV LIGHT GENERATOR

• Main Authors: YABU Takayuki, ABE Tamotsu, MIYAO Kenichi, ABE Tooru
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 11.05.2017
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

An extreme UV light generator may be provided with: a chamber having a window for irradiating a first pulse laser light and a second pulse laser light; a mirror for reflecting the first pulse laser light; a first actuator for controlling the position or the orientation of the mirror; a beam combiner for outputting the first pulse laser light reflected by the mirror and the second pulse laser light so that the optical paths thereof substantially match; a reflection optical system for outputting toward a predetermined area the first pulse laser light and the second pulse laser light outputted from the beam combiner; a second actuator for controlling the position or orientation of the reflection optical system; a plurality of sensors each outputting detection data for detecting the optical path position of the first pulse laser light in the vicinity of the specific region; and a controller for controlling the first actuator on the basis of the detection data and controlling the second actuator on the basis of the control value of the first actuator. La présente invention concerne un générateur de lumière UV extrême qui peut comprendre : une chambre ayant une fenêtre pour irradier une première lumière laser à impulsions et une seconde lumière laser à impulsions ; un miroir pour réfléchir la première lumière laser à impulsions ; un premier actionneur pour commander la position ou l'orientation du miroir ; un combineur de faisceaux pour délivrer en sortie la première lumière laser à impulsions réfléchie par le miroir et la seconde lumière laser à impulsions de sorte que leurs trajets optiques correspondent sensiblement ; un système optique de réflexion pour émettre vers une zone prédéterminée la première lumière laser à impulsions et la seconde lumière laser à impulsions émises par le combineur de faisceaux ; un second actionneur pour commander la position ou l'orientation du système optique de réflexion ; une pluralité de capteurs délivrant chacun des données de détection pour détecter la position du trajet optique de la première lumière laser à impulsions au voisinage de la région spécifique ; et un contrôleur pour commander le premier actionneur sur la base des données de détection et commander le second actionneur sur la base de la valeur de commande du premier actionneur. 極端紫外光生成装置は、第１のパルスレーザ光と第２のパルスレーザ光とが入射するためのウインドウを有するチャンバと、第１のパルスレーザ光を反射するミラーと、ミラーの位置又は姿勢を制御する第１のアクチュエータと、ミラーによって反射された第１のパルスレーザ光と第２のパルスレーザ光との光路をほぼ一致させて出力するビームコンバイナと、ビームコンバイナから出力された第１のパルスレーザ光及び第２のパルスレーザ光を、所定の領域に向けて出力する反射光学系と、反射光学系の位置又は姿勢を制御する第２のアクチュエータと、第１のパルスレーザ光の所定の領域の近傍における光路位置を検出するための検出データをそれぞれ出力する複数のセンサと、検出データに基づいて、第１のアクチュエータを制御し、第１のアクチュエータの制御値に基づいて、第２のアクチュエータを制御するコントローラと、を備えてもよい。