SOLAR CELL ELEMENT, METHOD FOR MANUFACTURING SAME AND SOLAR CELL MODULE

• Main Authors: KOMODA, Manabu, FUKUCHI, Kenji, IRIE, Yuuta, TERAMURA, Tsuyoshi, OOBA, Kenji
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 06.04.2017
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A solar cell element 1 is provided with a first silicon oxide layer 9a disposed on a silicon substrate 2, and a second silicon oxide layer 9b disposed on the first silicon oxide layer 9a with more silicon content relative to oxygen than the first silicon oxide layer 9a. Furthermore, in the solar cell element 1, the surface of the silicon substrate 2 is oxidized to form the first silicon oxide layer 9a, and through a CVD method using monosilane gas and nitrous oxide gas, the second silicon oxide layer 9b is formed on the first silicon oxide layer 9a. Further, a solar cell module 30 is provided with the solar cell element 1. Un élément de cellule solaire 1 est pourvu d'une première couche d'oxyde de silicium 9a disposée sur un substrat de silicium 2, et d'une seconde couche d'oxyde de silicium 9b disposée sur la première couche d'oxyde de silicium 9a avec une teneur en silicium supérieure par rapport à l'oxygène que la première couche d'oxyde de silicium 9a. En outre, dans l'élément de cellule solaire 1, la surface du substrat de silicium 2 est oxydée pour former la première couche d'oxyde de silicium 9a, et au moyen d'un procédé de dépôt chimique en phase vapeur à l'aide de gaz de monosilane et d'oxyde nitreux gazeux, la seconde couche d'oxyde de silicium 9b est formée sur la première couche d'oxyde de silicium 9a. En outre, un module de cellule solaire 30 est pourvu de l'élément de cellule solaire 1. 太陽電池素子１は、シリコン基板２の上に配置された第１酸化シリコン層９ａと、第１酸化シリコン層９ａの上に配置され、第１酸化シリコン層９ａよりも酸素に対するシリコンの含有量が多い第２酸化シリコン層９ｂと、を備えている。また、太陽電池素子１は、シリコン基板２の表面を酸化して第１酸化シリコン層９ａを形成して、モノシランガスおよび亜酸化窒素ガスを用いたＣＶＤ法によって、第１酸化シリコン層９ａの上に第２酸化シリコン層９ｂを形成する。また、太陽電池モジュール３０は太陽電池素子１を備えている。