DYNAMIC QUANTITY MEASURING APPARATUS

• Main Authors: SOMA Atsuo, ASHIDA Kisho
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 06.04.2017
• Subjects: MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

The purpose of the present invention is to provide a strain sensor module structure having exceptional strain measurement accuracy and suppressing sensor output variation caused by moisture absorbed by a plastic member used as an electrical wiring member, etc., in a strain sensor module. The dynamic quantity measuring apparatus is characterized in having a strain sensor formed by a plurality of piezoelectric resistance elements and electrode pads on the surface of a semiconductor substrate, an electrical wiring plastic member provided with a plurality of wires that electrically connect to the plurality of electrode pads, a strain body joined to the rear surface of the strain sensor, and a bonding part via which the electrical wiring plastic member and strain body are affixed together; a groove being provided in an area of the electrical wiring plastic body that is near the strain sensor. L'objet de la présente invention est de proposer une structure de module de capteur de déformation ayant une exceptionnelle précision de mesure de déformation et supprimant la variation de sortie de capteur provoquée par l'humidité absorbée par un élément en plastique utilisé en tant qu'élément de câblage électrique, etc. dans un module de capteur de déformation. L'appareil de mesure de grandeur dynamique est caractérisé en ce qu'il comprend un capteur de déformation formé par une pluralité d'éléments de résistance piézo-électriques et des plots d'électrode sur la surface d'un substrat semi-conducteur, un élément en plastique de câblage électrique pourvu d'une pluralité de fils qui se connectent électriquement à la pluralité de plots de connexion d'électrode, un corps de déformation relié à la surface arrière du capteur de déformation, et une partie de liaison par l'intermédiaire de laquelle l'élément en plastique de câblage électrique et le corps de déformation sont fixés l'un à l'autre; une rainure étant formée dans une zone du corps en plastique de câblage électrique qui est à proximité du capteur de déformation. 本発明の目的は、ひずみセンサモジュールの電気配線用部材などに用いられる樹脂部材の吸湿に起因したセンサ出力変動を抑制し、ひずみ計測精度に優れたひずみセンサモジュール構造を提供することにある。 力学量測定装置は、半導体基板の表面に複数のピエゾ抵抗素子および電極パッドが形成されたひずみセンサと、前記複数の電極パッドと電気的に接続される複数の配線を備える電気配線用樹脂部材と、前記ひずみセンサの裏面と接合される起歪体と、前記電気配線用樹脂部材と前記起歪体とを貼り合わせる接着部と、を有し、前記電気配線用樹脂部材のひずみセンサ近傍領域に、溝が設けられていることを特徴とする。