A METHOD FOR MANUFACTURING A MEMBRANE ASSEMBLY

• Main Authors: VAN DER ZANDE, Willem, Joan, VLES, David, Ferdinand, JANSSEN, Paul, LEENDERS, Martinus, Hendrikus, Antonius, PÉTER, Mária, VERBRUGGE, Beatrijs, Louise, Marie-Joseph, Katrien, VERMEULEN, Johannes, Petrus, Martinus, Bernardus, KUIJKEN, Michael, Alfred, Josephus, OOSTERHOFF, Sicco, HOUWELING, Zomer, Silvester, DRUZHININA, Tamara, CASIMIRI, Eric, Willem, Felix, VAN ZWOL, Pieter-Jan, VOORTHUIJZEN, Willem-Pieter
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 09.03.2017
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

A method for manufacturing a membrane assembly for EUV lithography, the method comprising: providing a stack comprising a planar substrate and at least one membrane layer, wherein the planar substrate comprises an inner region and a border region around the inner region; positioning the stack on a support such that the inner region of the planar substrate is exposed; and selectively removing the inner region of the planar substrate using a non-liquid etchant, such that the membrane assembly comprises: a membrane formed from the at least one membrane layer; and a border holding the membrane, the border formed from the border region of the planar substrate. L'invention concerne un procédé de fabrication d'un ensemble membrane pour lithographie EUV, le procédé comprenant les étapes suivantes : fournir un empilement comprenant un substrat plan et au moins une couche de membrane, où le substrat plan comprend une région intérieure et une région de bord autour de la région intérieure ; positionner l'empilement sur un support de sorte que la région intérieure du substrat plan soit exposée ; et éliminer sélectivement la région intérieure du substrat plan grâce à un agent de gravure non liquide, de sorte que l'ensemble membrane comprenne : une membrane formée à partir de l'au moins une couche de membrane ; et un bord maintenant la membrane, le bord étant formé à partir de la région de bord du substrat plan.