LITHOGRAPHIC METHOD AND APPARATUS

• Main Authors: ROOIJAKKERS, Wilhelmus, Jacobus, Maria, VOOGD, Robbert Jan
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 02.03.2017
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

An illumination system (IL) for a lithographic apparatus comprising a polarization adjustment apparatus (15) arranged to receive linearly polarized radiation, the polarization adjustment apparatus comprising regions which are configured to rotate the polarization orientation by different amounts, a directing apparatus (6) operable to direct the radiation through one or more regions of the polarization adjustment apparatus, a controller (CN) configured to control the directing apparatus so as to control which of the one or more regions of the polarization adjustment apparatus radiation is directed through, wherein the controller is configured to limit which of the regions radiation is directed through to one or more regions which rotate the orientation of the linear polarization by substantially the same amount, and a diffuser configured to receive radiation output from the polarization adjustment apparatus and increase a range of angles at which the radiation propagates whilst substantially conserving the polarization state of the radiation. L'invention concerne un système d'éclairage (IL) pour un appareil lithographique comprenant un appareil de réglage de polarisation (15) agencé pour recevoir un rayonnement polarisé linéairement, l'appareil de réglage de polarisation comprenant des régions qui sont configurées pour tourner l'orientation de polarisation de différentes amplitudes, un appareil d'orientation (6) conçu pour diriger le rayonnement à travers une ou plusieurs régions de l'appareil de réglage de polarisation, une unité de commande (CN) configurée pour commander l'appareil d'orientation de façon à décider à travers laquelle parmi une ou plusieurs régions de l'appareil de réglage de polarisation le rayonnement est dirigé, l'unité de commande étant configurée pour limiter le rayonnement des régions dirigé à travers une ou plusieurs régions qui tournent l'orientation de la polarisation linéaire sensiblement de la même amplitude, et un diffuseur configuré pour recevoir un rayonnement provenant de l'appareil de réglage de polarisation et augmenter une plage d'angles à laquelle le rayonnement se propage tout en conservant sensiblement l'état de polarisation du rayonnement.