METHOD FOR MANUFACTURING SHADOW MASK USING HYBRID PROCESSING METHOD, AND SHADOW MASK MANUFACTURED THEREBY

• Main Authors: PARK, Jong-Kab, KIM, Bo-Ram, KIM, Doh-Hoon, HUR, Jun-Gyu
• Format: Patent
• Language: English; French; Korean
• Published: 16.02.2017
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention relates to a method for manufacturing a metal shadow mask, and a shadow mask, and to a method for manufacturing a shadow mask having a mask pattern formed thereon, the subject matter being a method for manufacturing a shadow mask using a hybrid processing method, and a shadow mask manufactured thereby, the method for manufacturing a shadow mask comprising: a laser processing step for irradiating a laser beam on the upper side of a base, thereby forming a laser processing pattern on the base; and a wet etching step for performing wet etching on the lower side or the upper side of the base where the laser processing pattern is formed, thereby forming a wet etching pattern that is continuous to the laser processing pattern. Accordingly, laser processing and wet etching are hybridly used, and thus a productivity deterioration problem due to conventional laser processing processes is solved, and an effect of being able to provide a high-quality shadow mask by means of wet etching is shown. La présente invention se réfère à un procédé de fabrication d'un masque perforé métallique, à un masque perforé et à un procédé de fabrication d'un masque perforé comportant un motif de masque formé sur celui-ci. L'invention concerne un procédé de fabrication d'un masque perforé au moyen d'un procédé de traitement hybride, et le masque perforé ainsi fabriqué. Le procédé de fabrication d'un masque perforé comprend : une étape de traitement au laser, qui consiste à exposer à un faisceau laser la face supérieure d'une base afin de former un motif de traitement au laser sur la base ; et une étape de gravure humide, qui consiste à mettre en oeuvre une gravure humide sur la face inférieure ou la face supérieure de la base sur laquelle le motif de traitement au laser est formé, afin de former un motif de gravure humide qui est continu par rapport au motif de traitement au laser. En conséquence, le traitement au laser et la gravure humide sont utilisés de manière hybride, ce qui permet de résoudre le problème d'une détérioration de la productivité dû à des processus de traitement au laser classiques, et de fournir ainsi un masque perforé de haute qualité au moyen d'une gravure humide. 본 발명은 메탈 섀도우 마스크를 제조하는 방법 및 섀도우 마스크에 관한 것으로서, 마스크패턴이 형성된 섀도우 마스크의 제조방법에 있어서, 베이스 상측에서 레이저빔을 조사하여, 상기 베이스에 레이저가공패턴을 형성하는 레이저가공단계와, 상기 레이저가공패턴이 형성된 베이스 상측 또는 하측에서 습식에칭을 수행하여, 상기 레이저가공패턴에 연속하는 습식에칭패턴을 형성하는 습식에칭단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 복합 가공 방법을 이용한 섀도우 마스크의 제조방법 및 이에 의해 제조된 섀도우 마스크를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 레이저가공 및 습식에칭을 복합적으로 이용함으로써, 기존의 레이저가공 공정으로 인한 생산성 저하의 문제를 해결하고, 습식에칭에 의한 고품질의 섀도우 마스크를 제공할 수 있는 효과가 있다.