LINEAR GROOVE FORMING METHOD AND LINEAR GROOVES FORMING APPARATUS

Provided is a linear groove forming method for forming linear grooves on a steel plate surface using etching. This method allows linear grooves with a uniform shape to be formed while preventing deterioration of the magnetic characteristics of an oriented electrical steel plate caused by laser irrad...

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Main Authors UESAKA, Masanori, TAKAJO, Shigehiro
Format Patent
LanguageEnglish
French
Japanese
Published 02.02.2017
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Summary:Provided is a linear groove forming method for forming linear grooves on a steel plate surface using etching. This method allows linear grooves with a uniform shape to be formed while preventing deterioration of the magnetic characteristics of an oriented electrical steel plate caused by laser irradiation for removal of a resist. The linear grooves forming method comprises: a resist application step of applying a resist to the surface of an oriented electrical steel plate; a laser irradiation step of periodically performing laser scanning in the rolling direction of the oriented electrical steel plate to remove the resist in a part irradiated with a laser, the laser scanning comprising steps of irradiating the oriented electrical steel plate with the laser while scanning the laser in a direction transverse the rolling direction of the oriented electrical steel plate; and an etching step of forming a linear groove by etching the part of the oriented electrical steel plate from which the resist has been removed. The thickness of the applied resist is 0.5 to 10 µm. The laser output power is not less than 1500 W. L'invention concerne un procédé de formation de rainure linéaire permettant de former des rainures linéaires sur une surface de tôle d'acier à l'aide d'une gravure. Ce procédé permet de former des rainures linéaires présentant une forme uniforme tout en empêchant la détérioration des caractéristiques magnétiques d'une tôle d'acier magnétique orientée provoquée par une exposition au laser destinée à l'élimination d'une résine. Le procédé de formation de rainures linéaires comprend : une étape d'application de photorésine consistant à appliquer une photorésine à la surface d'une tôle d'acier magnétique orientée ; une étape d'exposition au laser consistant à effectuer périodiquement un balayage laser dans la direction de laminage de la tôle d'acier magnétique orientée pour éliminer la photorésine dans une partie exposée à un laser, le balayage au laser comprenant les étapes consistant à exposer la tôle d'acier magnétique orientée au laser tout en balayant le laser dans une direction transversale à la direction de laminage de la tôle d'acier magnétique orientée ; et une étape de gravure consistant à former une rainure linéaire par gravure de la partie de la tôle d'acier magnétique orientée dans laquelle la photorésine a été supprimée. L'épaisseur de photorésine appliquée est de 0,5 à 10 µm. La puissance de sortie du laser n'est pas inférieure à 1 500 W. エッチングを利用して鋼板表面に線状溝を形成する方法であって、レジスト除去のためのレーザー照射にともなう方向性電磁鋼板の磁気特性低下を抑制しつつ、均一な形状の線状溝を形成することのできる線状溝形成方法を提供する。 方向性電磁鋼板表面にレジストを塗布するレジスト塗布工程と、前記方向性電磁鋼板の圧延方向を横切る方向に走査しながらレーザーを照射することによって前記レーザーが照射された部分のレジストを除去するレーザー走査を、前記方向性電磁鋼板の圧延方向に周期的に行うレーザー照射工程と、前記レジストが除去された部分の方向性電磁鋼板をエッチングして線状溝を形成するエッチング工程とを有し、前記レジストの塗布厚が0.5~10μmであり、前記レーザーの出力が1500W以上である、線状溝形成方法。
Bibliography:Application Number: WO2016JP03217