WAFER CARRIER HAVING A DOOR WITH A UNITARY BODY

• Main Authors: FULLER, Matthew, A, BANDREDDI, Murali
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 22.12.2016
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A front opening wafer carrier includes: a container portion. The container portion includes a top wall, a bottom wall, a pair of side walls, a back wall, and a door frame opposite the back wall, the door frame defining a front opening, and a door removably received in the door frame for closing the front opening. The door has a single body construction and a substantially smooth exterior surface including one or more automation interface receiving features having a minimal volume, which may minimize the amount of oxygen that can be trapped between the wafer carrier door and an equipment front end module when the wafer carrier is in use. L'invention concerne un porte-plaquette qui inclut : une partie de récipient. La partie de récipient inclut une paroi supérieure, une paroi inférieure, une paire de parois latérales, une paroi arrière et une armature de porte opposée à la paroi arrière, l'armature de porte définissant une ouverture avant, et une porte installée de manière amovible dans l'armature de porte pour la fermeture de l'ouverture avant. La porte présente une construction de corps unique et une surface extérieure sensiblement lisse incluant une ou plusieurs interfaces d'automatisation recevant des attributs dont le volume est minimal, ce qui peut minimiser la quantité d'oxygène qui peut être piégée entre la porte du porte-plaquette et un module d'extrémité avant d'équipement lorsque le porte-plaquette est utilisé.