SCANNING MICROSCOPE

• Main Authors: GUGEL, Hilmar, NEUGART, Felix, BÖHM, Ingo
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 15.12.2016
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

Beschrieben ist ein Abtastmikroskop (20) mit einem in einem Beleuchtungsstrahlengang (26) angeordneten Objektiv (48) zum Fokussieren eines Beleuchtungslichtbündels (24) auf eine Probe (52), einer dem Objektiv (48) in dem Beleuchtungsstrahlengang (26) vorgeordneten Abtasteinheit (38) zum Ablenken des Beleuchtungslichtbündels (24) derart, dass das durch das Objektiv (48) fokussierte Beleuchtungslichtbündel (24) eine Abtastbewegung auf der Probe (52) ausführt, und einer in einem Detektionsstrahlengang (66) angeordneten Detektionseinheit (58) zum Empfangen durch die Abtasteinheit nicht abgelenkten Detektionslichtbündels (54). Die Detektionseinheit enthält zur spektralen Beeinflussung des Detektionslichtbündels (54) mindestens ein spektral selektives Bauelement (10), das eine Wirkfläche (12) mit einer spektralen Kante aufweist, die mit dem Ort des Einfalls des Detektionslichtbündels (54) auf der Wirkfläche (12) variiert. Die Wirkfläche (12) des spektral selektiven Bauelementes (10) ist in dem Detektionsstrahlengang (66) am Ort eines Bildes einer Objektivpupille (50) angeordnet ist. Alternativ ist die Wirkfläche (12) an einer Stelle angeordnet ist, an der eine Variation der spektralen Kante der Wirkfläche, die durch eine in Folge der Abtastbewegung des Beleuchtungslichtbündels (24) auftretenden Variation des Einfallwinkels, unter dem das Detektionslichtbündel auf die Wirkfläche fällt, verursacht ist, zumindest teilweise durch eine gegenläufige Variation der spektralen Kante der Wirkfläche (12) kompensiert ist, die durch eine Variation des Ortes, an dem das Detektionslichtbündel (54) auf die Wirkfläche (12) fällt, verursacht ist. The invention relates to a scanning microscope (20) comprising: an objective (48), arranged in an illuminating beam path (26), for focusing an illuminating light bundle (24) onto a sample (52); a scanning unit (38), arranged upstream of the objective (48) in the illuminating beam path (26), for deflecting the illuminating light bundle (24) in such a way that the illuminating light bundle (24), focused via the objective (48), executes a scanning movement on the sample (52); and a detection unit (58), arranged in a detection beam path (66), for receiving the detection light bundle (54) not deflected by the scanning unit. For spectral influencing of the detection light bundle (54), the detection unit contains at least one spectrally selective component (10) which has an active surface (12) with a spectral edge which varies with the location of the incidence of the detection light bundle (54) on the active surface (12). The active surface (12) of the spectrally selective component (10) is arranged in the detection beam path (66) at the location of an image of an objective pupil (50). Alternatively, the active surface (12) is arranged in a position in which a variation of the spectral edge of the active surface, caused by a variation of the angle of incidence at which the detection light bundle strikes the active surface, said variation occurring as a result of the scanning movement of the illuminating light bundle (24), is compensated for at least partially by an opposing variation of the spectral edge of the active surface (12), which is caused by a variation of the location at which the detection light bundle (54) strikes the active surface (12). L'invention concerne un microscope à balayage (20) comportant un objectif (48) disposé sur un trajet de faisceau d'éclairement (26) et destiné à focaliser un faisceau de lumière d'éclairement (24) sur un échantillon (52), une unité de balayage (38) disposée en amont de l'objectif (48) dans le trajet de faisceau d'éclairement (26) et destinée à dévier le faisceau de lumière d'éclairement (24) de telle sorte que le faisceau de lumière d'éclairement (24), focalisé par l'objectif (48), effectue un mouvement de balayage sur l'échantillon (52), et une unité de détection (58) disposée dans trajet de faisceau de détection (66) et destinée à recevoir un faisceau de lumière de détection (54) non déviée par l'unité de balayage. L'unité de détection contient, pour influer spectralement sur le faisceau de lumière de détection (54), au moins un élément (10) spectralement sélectif qui possède une face active (12) pourvue d'une arête spectrale qui varie avec la position d'incidence du faisceau de lumière de détection (54) sur la face active (12). La face active (12) du composant (10) spectralement sélectif est disposée dans le trajet de faisceau de détection (66) à l'emplacement d'une image d'une pupille de l'objectif (50). En variante, la face active (12) est disposée à un emplacement où une variation de l'arête spectrale de la face active, due à une variation, générée par le mouvement de balayage du faisceau de lumière d'éclairement (24), de l'angle d'incidence du faisceau de lumière de détection sur la face active, est compensée au moins partiellement par une variation opposée de l'arête spectrale de la face active (12) qui est due à une variation de l'emplacement où le faisceau de lumière de détection (54) est incident à la face active (12).