SHAPE-MEASURING DEVICE AND METHOD FOR MEASURING SHAPE

• Main Authors: UMEMURA, Jun, YAMAJI, Hironao
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 27.10.2016
• Subjects: MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

[Problem] To provide a shape-measuring device with which it is possible to accurately measure the shape of an object to be measured, even when the distance between the object to be measured and an image-capturing device varies when the uneven shape of the object to be measured is measured by optical cutting. [Solution] This shape-measuring device is provided with: a linear-light position detection unit for detecting, from a captured image in which linear light irradiated by a linear-light radiation unit onto an object to be measured is imaged by an image-capturing device, the linear-light position of the linear light; a distance calculation unit for calculating the distance from the image-capturing device to the object to be measured on the basis of the difference in distance between the linear-light position detected by the linear-light position detection unit and a reference linear-light position detected by the linear-light position detection unit when the object to be measured is located at a position set apart from the image-capturing device by a reference distance, a reference distance, and the angle formed between the optical axis of the image-capturing device and the emission angle of the linear light; a focus adjustment unit for adjusting the focus of the image-capturing device on the basis of the distance from the image-capturing device to the object to be measured; and a shape calculation unit for calculating the shape of the object to be measured on the basis of the captured image. Le problème décrit par la présente invention est de fournir un dispositif de mesure de forme avec lequel il est possible de mesurer précisément la forme d'un objet à mesurer, même lorsque la distance entre l'objet à mesurer et un dispositif de capture d'images varie lorsque la forme irrégulière de l'objet à mesurer est mesurée par coupe optique. La solution selon la présente invention porte sur un dispositif de mesure de forme qui est pourvu : d'une unité de détection de position de lumière linéaire destinée à détecter la position de la lumière linéaire, à partir d'une image capturée dans laquelle la lumière linéaire émise par une unité de rayonnement de lumière linéaire sur un objet à mesurer est imagée par un dispositif de capture d'images; d'une unité de calcul de distance destinée à calculer la distance entre le dispositif de capture d'images et l'objet à mesurer en fonction de la différence de distance entre la position de la lumière linéaire détectée par l'unité de détection de position de lumière linéaire et une position de référence de lumière linéaire détectée par l'unité de détection de position de lumière linéaire lorsque l'objet à mesurer est situé dans une position écartée du dispositif de capture d'image par une distance de référence, une distance de référence, et l'angle formé entre l'axe optique du dispositif de capture d'image et l'angle d'émission de la lumière linéaire; d'une unité de réglage de mise au point destinée à régler la mise au point du dispositif de capture d'images en fonction de la distance entre le dispositif de capture d'images et l'objet à mesurer; et d'une unité de calcul de forme destinée à calculer la forme de l'objet à mesurer en fonction de l'image capturée. 【課題】光切断法によって測定対象物の凹凸形状を測定する際、測定対象物と撮像装置との距離が変動しても、精度よく測定対象物の形状を測定することが可能な形状測定装置を提供する。 【解決手段】形状測定装置は、線状光照射装置により測定対象物に照射された線状光を撮像装置により撮像した撮像画像から、線状光の線状光位置を検出する線状光位置検出部と、撮像装置から所定の基準距離の位置に測定対象物が位置するときに線状光位置検出部により検出される基準線状光位置と、線状光位置検出部により検出された線状光位置との距離差、基準距離、及び、撮像装置の光軸と線状光の出射方向とのなす角に基づいて、撮像装置から測定対象物までの距離を演算する距離演算部と、撮像装置から測定対象物までの距離に基づいて、撮像装置のフォーカスを調整するフォーカス調整部と、撮像画像に基づいて、測定対象物の形状を演算する形状演算部と、を備える。