A ROTARY FEED-THROUGH FOR MOUNTING A ROTATING SUBSTRATE TUBE IN A LATHE, A CVD LATHE AND A CORRESPONDING METHOD USING THE CVD LATHE

• Main Authors: HARTSUIKER, Johannes Antoon, MILICEVIC, Igor, VAN STRALEN, Mattheus Jacobus Nicolaas, HENS, Raoul, KRABSHUIS, Gertjan
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 29.09.2016
• Subjects: CHEMISTRY; GLASS; MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES; METALLURGY; MINERAL OR SLAG WOOL

A rotary feed-through for mounting a rotating substrate tube in a lathe and providing a flow of process gas into the tube, said feed-through comprising a process gas supply line for providing a process gas into said substrate tube, a rotatable holder arranged for receiving and holding said substrate tube for rotating said substrate tube with respect to said process gas supply line, a rotary union provided between said rotatable holder and said process gas supply line for rotatably connecting said rotatable holder to said process gas supply line, a stationary housing connected to said process gas supply line and to said rotatable holder, therewith forming a closed cavity surrounding said rotary union, wherein said stationary housing further comprises an auxiliary gas supply line for providing said closed cavity with an auxiliary gas. Cette invention concerne un passage tournant pour le montage d'un substrat tubulaire en rotation dans un tour et l'injection d'un flux de gaz de procédé dans le tube, ledit passage rotatif comprenant un conduit d'alimentation en gaz de procédé pour injecter un gaz de procédé dans le tube, un porte-tube doué de rotation conçu pour recevoir et maintenir ledit substrat tubulaire en rotation par rapport audit conduit d'alimentation en gaz de procédé, un raccord rotatif situé entre ledit porte-tube et ledit conduit d'alimentation en gaz de procédé pour le raccordement rotatif dudit porte-tube doué de rotation audit conduit d'alimentation en gaz de procédé, un boîtier fixe raccordé audit conduit d'alimentation en gaz de procédé et audit porte-tube doué de rotation, pour former ainsi une cavité fermée entourant ledit raccord rotatif, ledit boîtier fixe comprenant en outre un conduit d'alimentation en gaz auxiliaire pour injecter un gaz auxiliaire dans ladite cavité fermée.