TARGET IMAGE-CAPTURE DEVICE AND EXTREME-ULTRAVIOLET-LIGHT GENERATION DEVICE

• Main Authors: YABU Takayuki, HOSODA Hirokazu, HOSHINO Hideo
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 22.09.2016
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES; X-RAY TECHNIQUE

The present invention addresses the problem of making it possible to improve the stability of operation of an EUV-light generation device. A target image-capture device, which may be provided with: a droplet detector for detecting the passage of a droplet outputted as a target from a target feed unit into a prescribed region in which extreme ultraviolet light is generated, and outputting a detection signal each time the passage of a droplet is detected; an illumination light source for irradiating the droplet detected by the droplet detector with illumination light; an image-capture element for receiving light reflected from the droplet due to the droplet being irradiated with the illumination light, and capturing an image of the droplet; a shutter device that includes a shutter for switching between propagation and cutoff of light, including the light reflected to the image-capture element; and a control unit for outputting an exposure signal for causing the image-capture element to perform image-capture, outputting a shutter opening/closing signal for actuating the shutter so as to open/close upon receiving input of the detection signal while outputting the exposure signal, and causing multiple exposure of the image-capture element to the light reflected from the droplet. La présente invention aborde le problème consistant à permettre d'améliorer la stabilité de fonctionnement d'un dispositif de génération de rayonnement ultraviolet extrême. L'invention concerne un dispositif de capture d'image cible, qui peut être doté : d'un détecteur de gouttelette permettant de détecter le passage d'une gouttelette délivrée en sortie en tant que cible à partir d'une unité d'alimentation cible dans une région prescrite dans laquelle un rayonnement ultraviolet extrême est généré, et de délivrer en sortie un signal de détection chaque fois que le passage d'une gouttelette est détecté; d'une source de lumière d'éclairage permettant d'irradier la gouttelette détectée par le détecteur de gouttelette avec une lumière d'éclairage; d'un élément de capture d'image permettant de recevoir la lumière réfléchie à partir de la gouttelette en raison du fait que la gouttelette est irradiée par la lumière d'éclairage, et de capturer une image de la gouttelette; d'un dispositif obturateur qui comprend un obturateur permettant de commuter entre la propagation et la coupure de la lumière, comprenant la lumière réfléchie vers l'élément de capture d'image; et d'une unité de commande permettant de délivrer en sortie un signal d'exposition pour amener l'élément de capture d'image à effectuer une capture d'image, pour délivrer en sortie un signal d'ouverture/de fermeture d'obturateur pour actionner l'obturateur de manière à ce qu'il s'ouvre/se ferme après la réception d'une entrée du signal de détection tout en délivrant en sortie le signal d'exposition, et pour causer une exposition multiple de l'élément de capture d'image à la lumière réfléchie à partir de la gouttelette. ＥＵＶ光生成装置の動作の安定性を向上させ得る。　ターゲット撮像装置は、極端紫外光が生成される所定領域にターゲットとしてターゲット供給部から出力されたドロップレットの通過を検出し、前記ドロップレットの通過が検出される度に検出信号を出力するドロップレット検出器と、前記ドロップレット検出器により検出された前記ドロップレットに照明光を照射する照明光源と、前記照明光を照射されたことによる前記ドロップレットからの反射光を受光して前記ドロップレットを撮像する撮像素子と、前記撮像素子への前記反射光を含む光の伝搬及び遮断を切り替えるシャッタを含むシャッタ装置と、前記撮像素子へ撮像を行わせる露光信号を出力し、前記露光信号を出力している間に前記検出信号が入力されると前記シャッタを開閉動作させるためのシャッタ開閉信号を出力して、前記ドロップレットからの反射光を前記撮像素子に多重露光させる制御部と、を備えてもよい。