PLASMA GENERATOR WITH AT LEAST ONE NON-METALLIC COMPONENT

• Main Authors: HAHTO, SAMI, K, HORSKY, THOMAS, N
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 11.08.2016
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

A plasma generator (1401) for an ion implanter is provided. The plasma generator includes an ionization chamber (1410) for forming a plasma that is adapted to generate a plurality of ions and a plurality of electrons. An interior surface (1420) of the ionization chamber is exposed to the plasma and constructed from a first non-metallic material. The plasma generator may include a thermionic emitter (1420a,b) with at least one surface which may or may not be exposed to the plasma, or an electron gun for generating a secondary plasma. The thermionic emitter may be constructed from a second non-metallic material. The plasma generator further may include an exit aperture (1430) for extracting at least one of the plurality of ions or the plurality of electrons from the ionization chamber to form at least one of an ion beam or an electron flux. The ion beam or the electron flux comprises substantially no metal. The first and second non-metallic materials can be the same or different from each other. L'invention concerne un générateur de plasma destiné à un implanteur ionique. Le générateur de plasma comprend une chambre d'ionisation permettant de former un plasma qui est conçu pour générer une pluralité d'ions et une pluralité d'électrons. Une surface intérieure de la chambre d'ionisation est exposée au plasma et est construite à partir d'un premier matériau non métallique. Le générateur de plasma comprend également un émetteur thermo-ionique comprenant au moins une surface exposée au plasma. L'émetteur thermo-ionique est construit à partir d'un second matériau non métallique. Le générateur de plasma comprend en outre une ouverture de sortie permettant d'extraire la pluralité d'ions et/ou la pluralité d'électrons à partir de la chambre d'ionisation pour former un faisceau d'ions et/ou un flux d'électrons. Le faisceau d'ions ou le flux d'électrons ne comprend sensiblement aucun métal. Les premier et second matériaux non métalliques peuvent être identiques ou différents l'un de l'autre.