CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS

• Main Authors: HISADA AKIKO, SHOUJI MINAMI, OKUMURA TAIGA, YONEYAMA AKIO, OOMINAMI YUUSUKE, OHSHIMA TAKASHI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 02.06.2016
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

The purpose of the present invention is to facilitate convenient observation of the three-dimensional internal structure of a sample being observed through an optical microscope with a charged particle microscope while accurately measuring the three-dimensional positional relationship and the density distribution of the sample's internal structure using an image of the charged-particles passing therethrough. A charged particle beam apparatus includes a sample stand rotating unit capable of rotating a sample stand (500) while the surface of the sample stand (500) is inclined at an angle (θ) that is not a right angle to the optical axis of a primary charged particle beam. The sample stand (500) is configured to include a detection element for detecting the charged particles scattered inside or transmitted through the sample. The charged particle beam apparatus irradiates the sample with the primary charged particle beam while the sample stand rotating unit rotates at a plurality of different angles (ϕ) in order to acquire an image of the charged-particles passing through the sample corresponding to each angle (ϕ). L'objectif de la présente invention est de faciliter une observation commode de la structure interne tridimensionnelle d'un échantillon qui est observé à travers un microscope optique avec un microscope à particules chargées tout en mesurant avec précision la relation de position tridimensionnelle et la distribution de densité de la structure interne de l'échantillon à l'aide d'une image des particules chargées passant à travers lui. Un appareil à faisceau de particules chargées selon l'invention comprend une unité de rotation de porte-échantillon permettant de faire tourner un porte-échantillon (500) pendant que la surface du porte-échantillon (500) est inclinée à un angle (θ) qui n'est pas un angle droit par rapport à l'axe optique d'un faisceau de particules chargées primaires. Le porte-échantillon (500) est configuré pour comporter un élément de détection servant à détecter les particules chargées diffusées à l'intérieur de l'échantillon ou transmises à travers lui. L'appareil à faisceau de particules chargées expose l'échantillon au faisceau de particules chargées primaires pendant que l'unité de rotation de porte-échantillon tourne à une pluralité d'angles (ϕ) différents afin d'acquérir une image des particules chargées passant à travers l'échantillon correspondant à chaque angle (ϕ). 光学顕微鏡により観察された試料の三次元内部構造観察を荷電粒子顕微鏡装置にて簡便に実施するとともに、透過荷電粒子画像によって試料内部構造の三次元位置関係や密度分布を正確に測定する。試料台（５００）表面と一次荷電粒子線の光軸とのなす角を垂直でない角度（θ）に傾斜させた状態で当該試料台（５００）を回転することが可能な試料台回転部を有し、試料台（５００）は試料の内部を散乱または透過してきた荷電粒子を検出する検出素子を含んで構成され、試料台回転部を複数の異なる角度（φ）に回転させた状態で一次荷電粒子線を試料に照射することにより、各角度（φ）に対応する前記試料の透過荷電粒子画像を取得する。