SOLID SOURCE VAPOR DELIVERY PACKAGE AND METHOD

• Main Authors: BYL, OLEG, SWEENEY, JOSEPH, D
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 06.05.2016
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; THEIR RELEVANT APPARATUS; TRANSPORTING

A solid source vapor delivery package is described, including a vaporizer vessel containing solid source material and configured to be heated to volatilized the solid source material to generate vapor for discharge from the vaporizer vessel, with a set point pressure regulator interiorly disposed in the vaporizer vessel for control of vapor discharged from the vaporizer vessel. Such solid source vapor delivery package is usefully employed to avoid backflow of dispensed vapor into the vaporizer vessel, and to otherwise avoid undesired flow anomalies and temperature and pressure fluctuations in downstream flow circuitry and the further downstream process tool receiving dispensed vapor from the package. L'invention concerne un emballage de distribution de vapeur d'une source solide, comprenant un récipient de vaporisateur contenant un matériau source solide et conçu pour être chauffé pour volatiliser le matériau source solide pour produire de la vapeur destinée à être évacuée du récipient de vaporisateur, comprenant un dispositif de réglage de point de consigne de pression disposé à l'intérieur du récipient de vaporisateur pour le réglage de vapeur évacuée du récipient de vaporisateur. Un tel emballage de distribution de vapeur d'une source solide est utilisé efficacement pour éviter le reflux de vapeur distribuée dans le récipient de vaporisateur et pour éviter par ailleurs des anomalies de flux et fluctuations de température et de pression non souhaitées dans le circuit de circulation aval et en outre l'outil de traitement aval recevant la vapeur distribuée provenant de l'emballage.