FILM FORMING DEVICE

• Main Authors: ORITA HIROYUKI, SHIRAHATA TAKAHIRO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 07.04.2016
• Subjects: APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES; PERFORMING OPERATIONS; SPRAYING APPARATUS; SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; TRANSPORTING

The present invention provides a film forming device having a nozzle for mist jetting, whereby clogging can be prevented. The film forming device pertaining to the present invention is provided with a mist jetting head part (100) for jetting a raw material solution. The mist jetting head part (100) has a raw material solution jetting nozzle part (N1) and a raw material solution ejecting part (7), and the raw material solution jetting nozzle part (N1) has cavities (2, 3) and a raw material solution discharge part (5) bored in a side face inside the cavities (2, 3) in a position separated from a bottom face of the cavities (2, 3), the raw material solution discharge part (5) being connected to the raw material solution ejection part (7). 　La présente invention concerne un dispositif de formation de film comprenant une buse de pulvérisation de brouillard, grâce à laquelle un engorgement peut être évité. Le dispositif de formation de film se rapportant à la présente invention est pourvu d'une partie tête (100) de pulvérisation de brouillard servant à pulvériser une solution de matière première. La partie tête (100) de pulvérisation de brouillard possède une partie buse (N1) de pulvérisation de solution de matière première et une partie (7) de pulvérisation de solution de matière première, et la partie buse (N1) de pulvérisation de solution de matière première présente des cavités (2, 3) et une partie (5) d'évacuation de solution de matière première ménagée dans une face latérale à l'intérieur des cavités (2, 3) dans une position séparée d'une face inférieure des cavités (2, 3), la partie (5) d'évacuation de solution de matière première étant reliée à la partie (7) de pulvérisation de solution de matière première. 　本発明は、目詰まりの発生を防止することができる、ミスト噴射用のノズルを有する成膜装置を提供する。本発明に係る成膜装置は、原料溶液を噴射するミスト噴射ヘッド部（１００）を備えている。ミスト噴射ヘッド部（１００）は、原料溶液噴射用ノズル部（Ｎ１）と、ミスト化された原料溶液を噴出する原料溶液噴出部（７）とを、有しており、原料溶液噴射用ノズル部（Ｎ１）は、空洞部（２，３）と、当該空洞部（２，３）の底面より離れた位置において、当該空洞部（２，３）内の側面に穿設されており、原料溶液噴出部（７）と接続されている原料溶液排出部（５）とを、有している。