SOLID IMMERSION LENS HOLDER AND IMAGE ACQUISITION DEVICE
A solid immersion lens holder 8 is provided with: a first member 70 comprising a first opening 71 that has a spherical section 6a arranged therein such that a part of the spherical section 6a protrudes toward an objective lens 21 side; and a second member 80 comprising a second opening 87 that has a...
Saved in:
Main Authors | , , |
---|---|
Format | Patent |
Language | English French Japanese |
Published |
31.03.2016
|
Subjects | |
Online Access | Get full text |
Cover
Loading…
Summary: | A solid immersion lens holder 8 is provided with: a first member 70 comprising a first opening 71 that has a spherical section 6a arranged therein such that a part of the spherical section 6a protrudes toward an objective lens 21 side; and a second member 80 comprising a second opening 87 that has a contact section 6d arranged therein such that a contact surface 6f protrudes toward the side opposite from the objective lens 21 side. The first member 70 comprises three protruding sections 73 that extend from the inner surface 71a of the first opening 71 toward the center side of the first opening 71 and that are configured so as to be capable of contact with the spherical surface section 6a.
Le support de lentille à immersion solide (8) de l'invention est équipé : d'un premier élément (70) qui possède une première ouverture (71) dans la partie interne de laquelle est disposée une partie à surface sphérique (6a) de sorte qu'une partie de la partie à surface sphérique (6a) forme une saillie du côté d'un objectif (21); et d'un second élément (80) qui possède une seconde ouverture (87) dans la partie interne de laquelle est disposée une partie contact (6d) de sorte qu'une face de contact (6f) forme une saillie côté opposé à l'objectif (21). Le premier élément (70) possède trois parties saillie (73) qui se prolongent d'une face interne (71a) vers le côté centrale de la première ouverture (71), et qui sont formées de manière à permettre le contact avec la surface sphérique (6a).
固浸レンズホルダ8は、球面部6aの一部が対物レンズ21側へ突出するように球面部6aを内部に配置する第1の開口71を有する第1の部材70と、当接面6fが対物レンズ21側とは反対側へ突出するように当接部6dを内部に配置する第2の開口87を有する第2の部材80と、を備える。第1の部材70は、第1の開口71の内面71aから第1の開口71の中心側へ延び、球面部6aと接触可能に構成された3つの突出部73を有する。 |
---|---|
Bibliography: | Application Number: WO2015JP76880 |