OBJECT TABLE, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

• Main Author: HUINCK, JEROEN, GERTRUDA, ANTONIUS
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 24.03.2016
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; CINEMATOGRAPHY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; MATERIALS THEREFOR; METALLURGY; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

An object table is described which comprises a support surface to support an object and a lifting mechanism to displace the object from the support surface in a direction substantially perpendicular to the support surface. The lifting mechanism comprises one or more elongated rods extending in the direction substantially perpendicular to the support surface; the one or more elongated rods being displaceable between a first position, wherein the one or more elongated rods are positioned below the support surface, and a second position, wherein the one or more elongated rods protrude the support surface through one or more apertures of the support surface, to support the object at a distance from the support surface. The mechanism further comprises a housing, a bearing configured to enable a substantially frictionless displacement of the one or more elongated rods between the first position and the second position and an actuator configured to displace the one or more elongated rods between the first position and the second position. The mechanism further includes a locking mechanism configured to limit a rotation about a longitudinal axis of the one or more elongated rods, the locking mechanism comprising an elastic element that is mechanically connected to both the housing and the one or more elongated rods, the elastic element being configured to have a comparatively low stiffness in the support direction and a comparatively high stiffness in a rotational direction about the longitudinal axis. L'invention concerne une table de support d'objet qui comprend une surface de support pour soutenir un objet et un mécanisme de levage pour déplacer l'objet depuis sa surface de support dans une direction sensiblement perpendiculaire à ladite surface de support. Le mécanisme de levage comprend une ou plusieurs tiges allongées s'étendant dans la direction sensiblement perpendiculaire à la surface de support; lesdites une ou plusieurs tiges allongées étant déplaçables entre une première position, dans laquelle elles sont positionnées au-dessous de la surface de support, et une seconde position, dans laquelle elles font saillie de la surface de support par une ou plusieurs ouvertures de la surface de support pour soutenir l'objet à une certaine distance de la surface de support. Le mécanisme comprend en outre un corps, un palier conçu pour permettre un déplacement sensiblement sans frottement desdites une ou plusieurs tiges allongées entre la première et la seconde position, et un actionneur conçu pour déplacer lesdites une ou plusieurs tiges allongées entre la première et la seconde position. Le mécanisme comprend également un mécanisme de verrouillage conçu pour limiter une rotation autour d'un axe longitudinal desdites une ou plusieurs tiges allongées, le mécanisme de verrouillage comprenant un élément élastique qui est relié mécaniquement à la fois au corps et auxdites une ou plusieurs tiges allongées, l'élément élastique étant conçu de manière à avoir une rigidité relativement faible dans la direction de support et une rigidité relativement forte dans une direction de rotation autour de l'axe longitudinal.