ELECTRON BEAM DEVICE AND GAS SUPPLY DEVICE FOR ELECTRON BEAM DEVICE

• Main Authors: YAGUCHI TOSHIE, NAGAKUBO YASUHIRA
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 10.03.2016
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

The objective of the present invention is to provide a device by which a gas handling operation can be carried out in an in situ observation of a sample inside an electron microscope, more safely and more efficiently than in prior art. The device comprises: a scope body having a sample holder (6) for holding a sample (13), a sample chamber (12) in vacuum for housing the sample holder (6) whereby the sample (13) is held, an electron source (2) for irradiating an electron beam onto the sample (13) being held, and a detector for detecting a signal obtained from the sample by the irradiation of the electron beam; and a gas supply unit for introducing gas into the scope body . The gas supply unit comprises a gas container housing portion (11a) that houses small-size gas containers (16 (a, b, c)), and a gas introduction nozzle (14) wherethrough the gas inside each of the gas containers that are housed in the gas container housing portion (11a) is introduced into a region containing at least the sample held inside the sample chamber in vacuum. The gas container housing portion (11a) is disposed outside the scope body and in the vicinity of the location where the sample is being held. La présente invention a pour but de fournir un dispositif par lequel une opération de manipulation de gaz puisse être exécutée, dans l'observation in situ d'un échantillon dans un microscope électronique, sans risque et d'une manière plus efficace que dans l'état de la technique. Le dispositif comprend : un corps de microscope ayant un porte-échantillon (6) pour retenir un échantillon (13), une chambre d'échantillon (12) dans le vide pour recevoir le porte-échantillon (6) par lequel l'échantillon (13) est retenu, une source d'électrons (2) pour émettre un faisceau d'électrons vers l'échantillon (13) qui est retenu, et un détecteur pour détecter un signal obtenu de l'échantillon par exposition au faisceau d'électrons ; une unité d'alimentation en gaz pour introduire du gaz dans le corps de microscope. L'unité d'alimentation en gaz comprend une partie de logement de réservoirs de gaz (11a), qui loge des réservoirs de gaz de petite taille (16 (a, b, c)), et une buse d'introduction de gaz (14), par laquelle le gaz contenu dans chacun des réservoirs de gaz, qui sont logés dans la partie de logement de réservoirs de gaz (11a), est introduit dans une région contenant au moins l'échantillon retenu à l'intérieur de la chambre d'échantillon dans le vide. La partie de logement de réservoirs de gaz (11a) est disposée à l'extérieur du corps de microscope et au voisinage de l'emplacement où l'échantillon est retenu. 　本発明は、電子顕微鏡における試料のその場観察において、従来よりも安全に、かつ、より効率的にガスの取り扱い操作を行うことが可能な装置を提供することを目的とする。試料（１３）を保持する試料ホルダ（６）と、当該試料（１３）が保持された試料ホルダ（６）を格納する真空の試料室（１２）と、当該保持された試料（１３）に電子線を照射する電子源（２）と、当該電子線の照射によって前記試料から得られる信号を検出する検出器と、を有する鏡体と、前記鏡体内にガスを導入するガス供給部と、を備え、前記ガス供給部は、小型のガス容器（１６（ａ、ｂ、ｃ））を収納するガス収容器納部（１１ａ）と、当該ガス容器収納部（１１ａ）に収納されたガス容器内のガスを、前記真空の試料室内に保持された試料を少なくとも含む領域に導入するガス導入ノズル（１４）と、を有し、前記ガス容器収納部（１１ａ）は、前記鏡体の外であって、かつ前記試料が保持された位置の近傍に配置されることを特徴とする装置を提供する。