ION MILLING DEVICE, ION SOURCE, AND ION MILLING METHOD

• Main Authors: SHICHI HIROYASU, TAKASU HISAYUKI, IWAYA TORU, ASAI KENGO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 04.02.2016
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

To provide a Penning discharge-type ion gun with which it is possible to obtain a significantly higher milling speed than conventionally achieved, an ion milling device having the ion gun, and an ion milling method. This invention is characterized in an ion generator having: cathodes (11, 12) for emitting electrons; an anode (13) provided in the ion generator, the anode (13) having an inside diameter of 5.2 mm or less; and a magnetic field generation means (14) enabled using a permanent magnet having a maximum energy product of 110-191 kJ/m3. 　L'invention concerne un canon à ions de type à décharge Penning, avec lequel il est possible d'obtenir une vitesse de gravure significativement plus grande que dans l'art antérieur, ainsi qu'un dispositif de gravure ionique et un procédé de gravure ionique mettant en oeuvre ce canon à ions. Cette invention se caractérise en ce qu'un générateur ionique possède: des cathodes (11, 12) pour émettre des électrons; une anode (13) située à l'intérieur du générateur d'ions et dont le diamètre intérieur est inférieur ou égal à 5,2mm, et un générateur (14) de champ magnétique mettant en oeuvre un aimant permanent dont la quantité maximale d'énergie est comprise entre 110kJ/m3 et 191kJ/m3. 　従来よりも著しく大きいミリング速度を得ることが可能なペニング放電方式のイオンガンおよびそれを有するイオンミリング装置、イオンミリング方法を提供する。イオン生成部は、電子を放出するカソード（１１、１２）と、前記イオン生成部の内部に設けられ、内径が５．２ｍｍ以下のアノード（１３）と、最大エネルギー積が１１０ｋＪ／ｍ３から１９１ｋＪ／ｍ３の範囲である永久磁石による磁場発生手段（１４）と、を有することを特徴とする。