USE OF AN ETCH STOP IN THE MIM CAPACITOR DIELECTRIC OF A MMIC

• Main Author: MCCLYMONDS, JAMES, W
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 10.12.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A structure having: a body; a pair of capacitors disposed over different portions of a surface of the body; a first one of the capacitors having an upper conductor and a lower conductor separated a dielectric layer; and a second one of the pair of capacitors having an upper conductor and a lower conductor separated a dielectric structure, the dielectric structure having a lower dielectric layer, and an upper dielectric layer, wherein the material of the lower dielectric layer is different from the material of the upper dielectric layer. La présente invention concerne une structure ayant : un corps ; une paire de condensateurs disposés sur différentes parties d'une surface du corps ; un premier de la paire condensateurs comporte un conducteur supérieur et un conducteur inférieur séparés par une couche diélectrique ; et un second de la paire de condensateurs comporte un conducteur supérieur et un conducteur inférieur séparés par une structure diélectrique, la structure diélectrique ayant une couche diélectrique inférieure et une couche diélectrique supérieure, le matériau de la couche diélectrique inférieure étant différent du matériau de la couche diélectrique supérieure.