RETENTION AND INSULATION FEATURES FOR LAMP

• Main Authors: SEREBRYANOV, OLEG V, IU, DONGMING, RANISH, JOSEPH M
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 03.12.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHICCOMMUNICATION

Embodiments of the present disclosure generally relate to an improved retention and insulation features for lamps used as a source of heat radiation in a thermal processing chamber. In one embodiment, a process chamber is provided. The process chamber includes a lamp assembly for thermal processing of semiconductor substrates, the lamp assembly has a lamp electrical connector and a first laterally operative element, a lamp assembly housing having a passage for receiving the lamp assembly, a power distribution assembly having a receptacle for receiving the lamp electrical connector and delivering power to the lamp electrical connector, and a spacer plate disposed between the lamp assembly housing and the power distribution assembly, wherein the spacer plate has a passage contoured to allow passage of the lamp electrical connector therethrough, and the spacer plate has a retention feature configured to engage or disengage the first laterally operative element. Selon des modes de réalisation, la présente invention porte généralement sur des éléments de rétention et d'isolation améliorés pour des lampes servant de source de rayonnement de chaleur dans une chambre de traitement thermique. Selon un mode de réalisation, l'invention concerne une chambre de traitement. La chambre de traitement inclut un ensemble de lampes pour le traitement thermique de substrats semi-conducteurs, l'ensemble de lampes comporte un connecteur électrique de lampes et un premier élément latéralement fonctionnel, un logement d'ensemble de lampes comportant un passage pour la réception de l'ensemble de lampes, un ensemble de distribution de puissance comportant un réceptacle pour la réception du connecteur électrique de lampes et la distribution de puissance au connecteur électrique de lampes, et une plaque d'entretoise disposée entre le logement d'ensemble de lampes et l'ensemble de distribution de puissance, la plaque d'entretoise comportant un passage délimité à travers lequel passe le connecteur électrique de lampes, et la plaque d'entretoise comportant un élément de rétention pouvant entrer en prise ou se séparer du premier élément latéralement fonctionnel.