THERMAL PROCESSING SUSCEPTOR

• Main Authors: CHANG, ANZHONG, ZHU, ZUOMING, BRILLHART, PAUL, YE, ZHIYUAN, TONG, EDRIC, SHAH, KARTIK, RAMACHANDRAN, BALASUBRAMANIAN, LO, KIN, PONG, BAUTISTA, KEVIN, JOSEPH, MACK, JAMES, FRANCIS, LI, XUEBIN, CONG, ZHEPENG, NGO, ANHTHU, HUANG, YIIAU, CHU, SCHUBERT, S, MYO, NYI, O
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 26.11.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

In one embodiment, a susceptor for thermal processing is provided. The susceptor includes an outer rim surrounding and coupled to an inner dish, the outer rim having an inner edge and an outer edge. The susceptor further includes one or more structures for reducing a contacting surface area between a substrate and the susceptor when the substrate is supported by the susceptor. At least one of the one or more structures is coupled to the inner dish proximate the inner edge of the outer rim. Dans un mode de réalisation, on utilise un suscepteur pour le traitement thermique. Le suscepteur comprend un rebord extérieur entourant une cuvette intérieure à laquelle il est accouplé, le rebord extérieur comportant un bord intérieur et un bord extérieur. Le suscepteur comprend également une ou plusieurs structures pour réduire une zone de surface de contact entre un substrat et le suscepteur lorsque le substrat est soutenu par le suscepteur. Au moins une desdites une ou plusieurs structures est accouplée à la cuvette intérieure à proximité du bord interne du rebord extérieur.