PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, CURED FILM, PROTECTIVE FILM, INSULATING FILM, AND ELECTRONIC DEVICE

• Main Author: IKEDA TAKUJI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 12.11.2015
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

The present invention provides a photosensitive resin composition which comprises an alkali-soluble resin (A), a silane compound (B) represented by the following general formula (1), and a photo-acid generator (C). A[Si(R1)a(OR2)b]m[Si(R3)c(OR4)d]n (1) (In the formula, A represents an organic group that has a cyclic structure and a valence of (m+n); R1 and R3 each independently represent a hydrogen atom or an (un)substituted C1-10 saturated alkyl group; R2 and R4 each represent an (un)substituted C1-10 saturated alkyl group or an (un)substituted C1-10 unsaturated alkyl group; a and b are integers of 0-3 which satisfy a+b=3; c and d are integers of 0-3 which satisfy c+d=3; and m and n are integers of 0-2 which satisfy m+n≠0.) La présente invention concerne une composition de résine photosensible qui comprend une résine soluble dans les alcalis (A), un composé de silane (B) représenté par la formule générale suivante (1), et un générateur photo-acide (C). A[Si(R1)a(OR2)b]m[Si(R3)c(OR4)d]n (1) (Dans la formule, A représente un groupe organique qui présente une structure cyclique et une valence de (m+n) ; R1 et R3 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle en C1-10 saturé substitué (ou non) ; R2 et R4 représentent chacun un groupe alkyle en C1-10 saturé substitué (ou non) ou un groupe alkyle en C1-10 insaturé substitué (ou non) ; a et b sont des entiers de 0 à 3 qui satisfont a+b = 3; c et d sont des entiers de 0 à 3 qui satisfont c+d = 3; et m et n sont des entiers de 0 à 2 qui satisfont m+n ≠ 0) 　本発明によれば、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、下記一般式（１）で表されるシラン化合物（Ｂ）と、光酸発生剤（Ｃ）と、を含む感光性樹脂組成物が提供される。 （式中Ａは環状構造を有する（ｍ＋ｎ）価の有機基を示し、Ｒ１およびＲ３はそれぞれ独立に水素原子、置換若しくは無置換の炭素数１～１０の飽和アルキル基を示し、Ｒ２およびＲ４は置換若しくは無置換の炭素数１～１０の飽和アルキル基、置換若しくは無置換の炭素数１～１０の不飽和アルキル基を示し、ａ及びｂはａ＋ｂ＝３を満たす０～３の整数を示し、ｃ及びｄはｃ＋ｄ＝３を満たす０～３の整数を示し、ｍ及びｎは０～２の整数を示しｍ＋ｎ≠０である）