METHOD AND DEVICE FOR CONTINUOUSLY SUPPLING A PRECURSOR

• Main Authors: MÜHLHAUSE, WALTER, STRACK, MICHAEL
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 05.11.2015
• Subjects: BLASTING; BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISEPROVIDED FOR; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED,LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; HEATING; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; LIGHTING; LIQUID HANDLING; MECHANICAL ENGINEERING; METALLURGY; OPENING, CLOSING; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; SEPARATION; STORING OF DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; TRANSPORTING; VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED ORSOLIDIFIED GASES; WEAPONS

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Zuführung mindestens eines Präkursors zu einer Mehrzahl von Beschichtungsmodulen einer Beschichtungsvorrichtung und eine entsprechende Beschichtungsvorrichtung, insbesondere Plasmabeschichtungsvorrichtung. Die Aufgabe, ein Verfahren und eine einfache Vorrichtung zur Beschichtung vorzuschlagen, mit welchem bzw. mit welcher ein Präkursor einer Mehrzahl an Beschichtungsmodulen kontinuierlich mit einem gleichen Präkursorpegel bereitgestellt werden kann und ein kontinuierlicher Beschichtungsbetrieb gewährleistet wird, wird mit einem Verfahren gemäß Patentanspruch 1 gelöst. The invention relates to a method for supplying at least one precursor to a plurality of coating modules of a coating device and to a corresponding coating device, in particular a plasma coating device. The aim of the method is to provide a method and a simple device for coating, with which a precursor or precursors of a plurality of coating modules can be continuously provided with the same precursor level and a continuous coating operation is guaranteed, according to claim 1. L'invention concerne un procédé d'acheminement d'un ou de plusieurs précurseurs à une pluralité de modules de revêtement d'un dispositif de revêtement, ainsi qu'un dispositif de revêtement correspondant, en particulier un dispositif de revêtement par plasma. Le but est de proposer un procédé de revêtement et un dispositif de revêtement simple qui permettent d'amener un précurseur à une pluralité de modules de revêtement en continu avec un même niveau de précurseur et d'assurer une opération de revêtement en continu. Ce but est atteint avec un procédé selon la revendication 1.