PHYSICAL QUANTITY SENSOR AND PHYSICAL QUANTITY SENSOR MANUFACTURING METHOD

• Main Author: TANEMURA, TOMOKI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 29.10.2015
• Subjects: MEASURING; MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUIDLEVEL; METERING BY VOLUME; PHYSICS; TESTING

This physical quantity sensor has: a first substrate (2), which is provided with a supporting substrate (20) having a first end (2a), a second end (2b), a first surface (21), and a second surface (22), and which has a thin section (22a); a second substrate (3), which has a third surface (31) and a second recessed section (31a), said third surface (31) being bonded to the first substrate (2), while being in contact with the first surface (21) of the first substrate (2); and sensing sections (7, 9, 7A, 7B), which detect a physical quantity of a subject to be detected, and which output the physical quantity as electric signals. This physical quantity sensor manufacturing method has: a step for preparing a first wafer (200) having a plurality of the thin sections (22a); a step for preparing a second wafer (300) having a plurality of the second recessed sections (31a) formed in a sixth surface (301); and a step for bonding the first wafer (200) and the second wafer (300) to each other. La présente invention concerne un capteur de quantité physique qui comprend : un premier substrat (2), ledit premier substrat étant pourvu d'un substrat de support (20) qui possède une première extrémité (2a), une seconde extrémité (2b), une première surface (21), et une deuxième surface (22), et comportant une section mince (22a); un second substrat (3), qui possède une troisième surface (31) et une seconde section évidée (31a), ladite troisième surface (31) étant liée au premier substrat (2), tout en étant en contact avec la première surface (21) du premier substrat (2); et des sections de détection (7, 9, 7A, 7B), qui détectent une quantité physique d'un sujet destinée à être détectée, et qui fournissent en sortie la quantité physique sous forme de signaux électriques. Le présent procédé de fabrication de capteur de quantité physique comprend : une étape pour préparer une première plaquette (200) qui comporte une pluralité de sections minces (22a); une étape pour préparer une seconde plaquette (300) qui comporte une pluralité de secondes sections en retrait (31a) formées dans une sixième surface (301); et une étape pour lier la première plaquette (200) et la seconde plaquette (300) l'une à l'autre. 　物理量センサは、第１端（２ａ）および第２端（２ｂ）を有すると共に第１面（２１）および第２面（２２）を有する支持基板（２０）を備え、薄肉部（２２ａ）を有する第１基板（２）と、第３面（３１）と第２凹部（３１ａ）を有すると共に、第３面（３１）が第１基板（２）の第１面（２１）に接触させられつつ第１基板（２）に貼り合わされた第２基板（３）と、被検出体の物理量を検出して電気信号として出力するセンシング部（７、９、７Ａ、７Ｂ）と、を有する。物理量センサの製造方法は、複数の薄肉部（２２ａ）を有する第１ウェハ（２００）を用意することと、複数の第２凹部（３１ａ）が第６面（３０１）に形成された第２ウェハ（３００）を用意することと、第１ウェハ（２００）と第２ウェハ（３００）とを貼り合わせることと、を有する。