OPTICAL PHASE MEASUREMENT METHOD AND SYSTEM

• Main Authors: HAINICK, YANIR, GROSSMAN, DANNY, BARAK, GILAD, SHAFIROR, BERLATZKY, YOAV
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 15.10.2015
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

A measurement system for use in measuring parameters of a patterned sample is presented. The system comprises: a broadband light source; an optical system configured as an interferometric system; a detection unit; and a control unit. The interferometric system defines illumination and detection channels having a sample arm and a reference arm comprising a reference reflector, and is configured for inducing an optical path difference between the sample and reference arms; the detection unit comprises a configured and operable for detecting a combined light beam formed by a light beam reflected from said reflector and a light beam propagating from a sample's support, and generating measured data indicative of spectral interference pattern formed by at least two spectral interference signatures. The control unit is configured and operable for receiving the measured data and applying a model-based processing to the spectral interference pattern for determining one or more parameters of the pattern in the sample. L'invention concerne un système de mesure destiné à être utilisé dans la mesure de paramètres d'un échantillon à motifs. Le système comprend : une source de lumière à large bande; un système optique configuré sous la forme d'un système interférométrique; une unité de détection et une unité de commande. Le système interférométrique définit des canaux d'éclairage et de détection ayant un bras d'échantillon et un bras de référence comprenant un réflecteur de référence, et est configuré pour induire une différence de trajet optique entre les bras d'échantillon et de référence; l"unité de détection comprend une unité configurée et utilisable pour détecter un faisceau de lumière combiné formé par un faisceau de lumière réfléchi par ledit réflecteur et un faisceau de lumière se propageant à partir d'un support d'échantillon, et générer des données mesurées indicatives du motif d'interférence spectrale formé par au moins deux signatures d'interférence spectrale. L'unité de commande est configurée et utilisable pour recevoir les données mesurées et appliquer un traitement basé sur un modèle au motif d'interférence spectrale afin de déterminer un ou plusieurs paramètres du motif dans l'échantillon.