HEATED ELECTROSTATIC CHUCK

• Main Authors: NEFF, WOLFRAM, WALDFRIED, CARLO, KRULL, WADE, COOKE, RICHARD, A
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 08.10.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Heated electrostatic chucks are provided that can improve uniformity of heating of a substrate on the electrostatic chucks, and can improve thermal performance of an electrostatic chuck relative to other thermal performance goals. One electrostatic chuck includes a ceramic structural element having a sidewall surface on an outer perimeter of the electrostatic chuck, and at least one sidewall heater element disposed on or within at least a portion of the sidewall surface. La présente invention concerne des mandrins électrostatiques chauffés qui peuvent améliorer l'uniformité du chauffage d'un substrat sur les mandrins électrostatiques, et peuvent améliorer la performance thermique d'un mandrin électrostatique par rapport à d'autres objectifs de performance thermique. Un mandrin électrostatique comprend un élément structurel céramique présentant une surface de paroi latérale sur un périmètre extérieur du mandrin électrostatique, et au moins un élément chauffant de paroi latérale disposé sur ou à l'intérieur d'au moins une partie de la surface de paroi latérale.